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氧化镧铌蒸发材料采用高纯镧源与铌源为原料,通过精确化学计量控制、固相合成与高温烧结工艺制备,确保材料致密、相组成稳定,适用于高真空及高能束流沉积环境。
典型化学组成:LaNbO / LaNbO₄(按应用需求提供)
纯度范围:99.9% – 99.99%(3N–4N)
材料形态:块状、颗粒状、定制尺寸
制造工艺:固相合成 → 高温烧结 → 成形
表面状态:致密、低吸附,适合高真空蒸发
高质量 LaNbO 蒸发材料有助于:
保证 La/Nb 比例稳定,减少成分偏析;
提高薄膜致密度与结构一致性;
获得稳定的介电与光学性能;
满足科研级与器件级对复杂氧化物薄膜的严格要求。
高介电薄膜与微电子:介质层、缓冲层、界面工程
光学镀膜:稳定介质层、功能光学薄膜
功能氧化物薄膜:复合氧化物与多层结构
能源与电子材料研究:氧化物电子学与能带工程
科研实验:镧铌氧化物结构、介电与薄膜物性研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 化学组成 | LaNbO / LaNbO₄ | 决定介电与结构性能 |
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 降低杂质与缺陷 |
| 形态 | 块状 / 颗粒 / 定制 | 适配不同蒸发源 |
| 结构特征 | 稀土铌酸盐结构 | 有利于介电稳定性 |
| 适用工艺 | 电子束蒸发 / 高温热蒸发 | 复杂氧化物常用 |
| 包装方式 | 真空密封 | 防止吸湿与污染 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 氧化镧铌(LaNbO₄) | 高介电、结构稳定 | 介质与功能薄膜 |
| 氧化铌(Nb₂O₅) | 高折射率 | 光学与介电薄膜 |
| 氧化镧钽(LaTaO₄) | 高稳定性 | 高端介电层 |
| 氧化钇铌(YNbO₄) | 稀土铌酸盐 | 功能氧化物研究 |
Q1:LaNbO 蒸发材料适合哪种沉积方式?
A:适用于电子束蒸发和高温热蒸发,适合复杂氧化物薄膜制备。
Q2:LaNbO 与 LaNbO₄ 是否等同?
A:工程与科研中通常以 LaNbO₄ 为主要稳定相,LaNbO 多为简化标识。
Q3:沉积过程中需要控制氧分压吗?
A:需要,氧分压会影响薄膜的化学计量与介电性能。
Q4:LaNbO 薄膜是否需要后处理?
A:通常需要在氧气或可控气氛中退火以获得理想晶相。
Q5:是否适合半导体应用?
A:适合,可作为高介电介质层或缓冲层。
Q6:颗粒尺寸会影响蒸发稳定性吗?
A:会,均匀颗粒有助于稳定蒸发速率与成分控制。
Q7:是否适合科研级实验?
A:非常适合,是稀土铌酸盐研究的常用材料。
Q8:材料如何储存?
A:建议真空密封、干燥保存,避免吸湿与污染。
Q9:是否支持定制规格与配比?
A:支持,可根据蒸发设备与工艺需求定制。
Q10:是否可提供其他稀土铌酸盐材料?
A:可提供 YNbO₄、GdNbO₄、LuNbO₄ 等相关材料。
所有氧化镧铌蒸发材料(LaNbO)在出厂前均经过严格质量检测,并建立完整批次追溯体系。产品采用真空密封、防震缓冲与出口级包装,确保运输与储存过程中材料成分、纯度与蒸发性能稳定。
氧化镧铌蒸发材料(LaNbO / LaNbO₄)凭借其高介电性能、优异的结构稳定性与良好的工艺适配性,在高端介质薄膜、功能氧化物薄膜及前沿科研领域中展现出重要价值。对于追求成分可控、性能稳定与长期可靠性的薄膜沉积应用,LaNbO 是一种专业性强、科研与工程应用潜力兼具的复合氧化物蒸发材料选择。
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