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氧化铟锌蒸发材料由高纯 In₂O₃ 与 ZnO 按精确比例复合制备,经固相合成与高温烧结成形,确保材料致密、相组成稳定,适用于高真空热蒸发与电子束蒸发工艺。
典型化学组成:InZnO(IZO,In₂O₃–ZnO 复合体系)
纯度范围:99.9% – 99.99%(3N–4N)
组分比例:可定制(满足不同导电/透光需求)
材料形态:块状、颗粒状、定制尺寸
制造工艺:固相合成 → 高温烧结 → 成形
高质量 InZnO 蒸发材料可有效:
提升薄膜载流子迁移率与电学稳定性;
降低薄膜缺陷密度,提高可重复性;
改善在低温或柔性基底上的沉积兼容性;
实现透明性与导电性的平衡优化。
显示技术:LCD、OLED、Micro-LED 透明电极
薄膜晶体管(TFT):IGZO/IZO 通道或电极层
光电器件:透明导电层、光电探测器
柔性电子:可弯折显示与可穿戴器件
科研实验:TCO 薄膜与氧化物电子学研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 化学组成 | InZnO(IZO) | 决定导电与透明特性 |
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 降低杂质对薄膜性能影响 |
| In/Zn 比例 | 可定制 | 调控电阻率与透过率 |
| 形态 | 块状 / 颗粒 / 定制 | 适配不同蒸发源 |
| 适用工艺 | 电子束蒸发 / 热蒸发 | TCO 薄膜常用 |
| 包装方式 | 真空密封 | 防止吸湿与污染 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 氧化铟锌(InZnO / IZO) | 低温沉积、迁移率高 | TFT、柔性显示 |
| ITO | 工艺成熟 | 传统透明电极 |
| IGZO | 高迁移率 | 高端显示 TFT |
| AZO | 成本低 | 通用透明导电膜 |
Q1:InZnO 适合哪种蒸发方式?
A:适用于电子束蒸发与高真空热蒸发,常用于透明导电薄膜制备。
Q2:InZnO 与 ITO 有何主要区别?
A:InZnO 更适合低温沉积,迁移率更高,对柔性基底更友好。
Q3:In/Zn 比例会影响薄膜性能吗?
A:会,比例直接影响电阻率、载流子浓度与透光率。
Q4:是否适合柔性显示应用?
A:非常适合,低温工艺兼容 PI、PET 等基底。
Q5:沉积过程中是否需要氧分压控制?
A:建议控制,以优化薄膜的电学与光学性能。
Q6:薄膜透明度如何?
A:在可见光区具有高透过率,适合显示与光电应用。
Q7:是否适合科研级实验?
A:是的,是 TCO 与氧化物电子学研究的常用材料。
Q8:材料如何储存?
A:建议真空密封、干燥保存,避免吸湿。
Q9:是否支持定制规格与配比?
A:支持,可根据设备与工艺需求定制。
Q10:是否可提供其他透明导电氧化物?
A:可提供 ITO、IGZO、AZO、GZO 等相关材料。
所有氧化铟锌蒸发材料(InZnO)在出厂前均经严格检测并建立批次追溯。采用真空密封、防震缓冲与出口级包装,确保运输与储存过程中材料纯度、成分与蒸发性能稳定。
氧化铟锌蒸发材料(InZnO / IZO)以其优异的透明导电性能、低温工艺适配性与良好的薄膜一致性,已成为显示与氧化物电子学领域的重要材料选择。对于追求高迁移率、低电阻与柔性应用兼容性的薄膜沉积需求,InZnO 提供了可靠、成熟且面向未来的解决方案。
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