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氧化铟锡蒸发材料通常以 In₂O₃–SnO₂ 复合体系存在(工程中简称 InSnO),由高纯 In₂O₃ 与 SnO₂ 按精确比例复合,经固相合成与高温烧结成形,确保材料致密、杂质含量低,适用于电子束蒸发与高真空热蒸发工艺。
典型化学组成:InSnO(ITO,In₂O₃–SnO₂)
常见锡掺杂比例:5–10 wt% SnO₂(可定制)
纯度范围:99.9% – 99.99%(3N–4N)
材料形态:块状、颗粒状、定制尺寸
制造工艺:固相合成 → 高温烧结 → 成形
高品质 InSnO 蒸发材料有助于:
实现低电阻率与高透光率的平衡;
降低薄膜缺陷密度,提高显示一致性;
改善与玻璃、Si、OLED、金属电极等基底的界面结合;
满足量产工艺对稳定性与寿命的严格要求。
显示技术:LCD、OLED、Micro-LED 透明电极
触控面板:电容式触控传感层
光伏与光电器件:透明导电前电极
半导体与电子器件:功能导电层、缓冲层
科研实验:TCO 薄膜电学与光学性能研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 化学组成 | InSnO(ITO) | 决定透明与导电性能 |
| SnO₂ 含量 | 5–10 wt%(可定制) | 调控电阻率与载流子浓度 |
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 降低杂质对薄膜性能影响 |
| 形态 | 块状 / 颗粒 / 定制 | 适配不同蒸发源 |
| 适用工艺 | 电子束蒸发 / 热蒸发 | 透明导电膜主流工艺 |
| 包装方式 | 真空密封 | 防止吸湿与污染 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 氧化铟锡(ITO / InSnO) | 工艺成熟、综合性能优 | 显示与触控 |
| 氧化铟锌(InZnO) | 低温沉积友好 | 柔性显示 |
| IGZO | 高迁移率 | TFT 通道层 |
| AZO | 成本较低 | 通用 TCO |
Q1:InSnO 与 ITO 是同一种材料吗?
A:是的,InSnO 通常指 In₂O₃–SnO₂ 复合体系,即 ITO。
Q2:InSnO 适合哪种蒸发方式?
A:非常适合电子束蒸发,也可用于高真空热蒸发。
Q3:SnO₂ 含量会影响薄膜性能吗?
A:会,锡含量直接影响载流子浓度、电阻率与透光率。
Q4:ITO 薄膜是否透明?
A:在可见光区具有高透过率,广泛用于显示与光电器件。
Q5:是否需要控制氧分压?
A:建议控制,以获得最佳导电与光学性能。
Q6:是否适合量产应用?
A:非常适合,是当前最成熟的透明导电材料之一。
Q7:是否适合科研级实验?
A:适合,常用于 TCO 薄膜基础研究与工艺优化。
Q8:材料如何储存?
A:建议真空密封、干燥保存,避免吸湿。
Q9:是否支持定制规格与配比?
A:支持,可根据设备与工艺要求定制。
Q10:是否可提供其他 TCO 材料?
A:可提供 InZnO、IGZO、AZO、GZO 等多种透明导电氧化物。
所有氧化铟锡蒸发材料(InSnO)在出厂前均经过严格检测并建立完整批次追溯体系。采用真空密封、防震缓冲与出口级包装,确保运输与储存过程中材料纯度、成分与蒸发性能稳定。
氧化铟锡蒸发材料(InSnO / ITO)凭借其成熟稳定的透明导电性能、优异的工艺适配性与广泛的产业应用基础,长期占据透明电极材料的核心地位。对于追求高透光率、低电阻率与量产稳定性的薄膜沉积应用,InSnO 依然是可靠、成熟且高性价比的首选蒸发材料。
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