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钡锶蒸发材料由高纯钡(Ba)与高纯锶(Sr)按指定比例进行真空合金化或复合冶炼制备,并经均化处理与精密成形,适用于高真空热蒸发与电子束蒸发工艺。
Ba 提供高极化能力与高介电潜力,Sr 用于调节晶格常数与居里温度,使薄膜性能更加稳定、可设计。
化学组成:Ba–Sr 合金
常见配比:Ba/Sr 原子比或质量比可定制(对应 BST 体系)
纯度范围:99.9% – 99.99%(3N–4N,单质纯度控制)
材料形态:块状、颗粒状、定制尺寸
制造工艺:高纯原料 → 真空合金化 → 均化处理 → 成形
高品质 BaSr 蒸发材料有助于:
实现 Ba 与 Sr 元素的同步、稳定引入;
降低多源蒸发带来的成分漂移;
提升高介电薄膜的成分一致性;
满足可调介电与微波器件对材料精度的要求。
高介电常数薄膜:BST(BaₓSr₁₋ₓTiO₃)体系
微波与射频器件:可调电容、相移器
DRAM 与存储器件:高 k 介电层
传感器与致动器:介电与功能层
科研实验:钙钛矿氧化物与相变研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 化学组成 | Ba–Sr 合金 | 决定前驱成分 |
| Ba/Sr 比例 | 可定制 | 调控介电性能 |
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 降低漏电与缺陷 |
| 形态 | 块状 / 颗粒 / 定制 | 适配不同蒸发源 |
| 适用工艺 | 热蒸发 / 电子束蒸发 | 前驱合金常用 |
| 包装方式 | 真空密封 | 防止氧化与吸湿 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 钡锶(BaSr) | 成分可调、介电稳定 | BST 薄膜 |
| 纯钡(Ba) | 极化能力强 | 高 k 材料 |
| 纯锶(Sr) | 结构稳定 | 晶格调控 |
| 镧锶(LaSr) | A 位掺杂 | 磁性与导电薄膜 |
Q1:BaSr 主要用于金属薄膜还是氧化物薄膜?
A:主要作为金属前驱材料,用于反应沉积或后氧化形成氧化物薄膜。
Q2:Ba/Sr 比例是否关键?
A:非常关键,直接影响介电常数与温度稳定性。
Q3:适合哪种蒸发方式?
A:高真空热蒸发与电子束蒸发均适用。
Q4:材料是否易氧化?
A:是的,Ba 与 Sr 都较活泼,需严格真空或惰性保护。
Q5:是否适合科研级实验?
A:非常适合,广泛用于 BST 与高 k 材料研究。
Q6:沉积过程中是否需要氧气?
A:制备氧化物时需受控氧分压。
Q7:是否支持定制比例与小批量?
A:支持,满足科研与中试需求。
Q8:颗粒尺寸会影响蒸发稳定性吗?
A:会,均匀颗粒有助于稳定蒸发速率。
Q9:材料如何储存?
A:真空或惰性气体密封,避免空气暴露。
Q10:是否可提供相关前驱材料?
A:可提供 BaCa、BaTi、SrTi、LaSr 等。
所有钡锶蒸发材料(BaSr)在出厂前均经过成分与纯度检测,并建立完整批次追溯体系。产品采用真空密封、防震缓冲与惰性保护包装,确保运输与储存过程中材料成分稳定、表面洁净、蒸发性能可靠。
钡锶蒸发材料(BaSr)作为高介电与钙钛矿功能氧化物的重要前驱蒸发材料,在可调介电器件、微波电子与先进存储材料研究中具有不可替代的作用。对于需要精确控制 Ba/Sr 比例、开展高 k 材料设计与器件验证的薄膜沉积应用,BaSr 是一种专业、可靠且高度科研导向的蒸发材料选择。
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