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钴钨蒸发材料通常采用高纯钴与高纯钨为原料,通过真空熔炼或合金化烧结工艺制备,确保合金成分均匀、组织致密、杂质含量严格受控。
纯度等级:常见为 99.9%(3N)–99.99%(4N),满足高可靠性薄膜沉积需求
合金比例:Co/W 比例可按质量比或原子比定制,用于平衡薄膜的磁学、硬度与热稳定性
高温与结构稳定性:钨元素显著提升薄膜的耐高温与抗形变能力
蒸发稳定性:合金化结构有助于改善多组分蒸发一致性,降低成分偏析风险
供货形态:颗粒、块状、片状或定制形态,适配钨舟、钼舟及电子束坩埚等多种蒸发源
通过合理的材料与工艺设计,可获得致密、均匀、附着力良好的 CoW 合金薄膜。
钴钨蒸发材料在多个高端薄膜与功能涂层领域中具有典型应用,包括:
微电子与半导体制造:功能金属层、结构强化薄膜
磁性与自旋相关薄膜:磁性层、界面调控层
耐磨与高硬度涂层:工具、微结构表面工程
高温与苛刻环境薄膜:耐热、耐腐蚀功能层
科研与实验室应用:合金薄膜、结构与磁学性能研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 合金成分 | Co–W(比例可定制) | 决定薄膜硬度、磁学与热稳定性 |
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 影响薄膜缺陷与可靠性 |
| 形态 | 颗粒 / 块状 / 片状 | 适配不同蒸发源 |
| 尺寸范围 | 1 – 10 mm(颗粒)或定制 | 影响蒸发速率与均匀性 |
| 蒸发方式 | 热蒸发 / 电子束蒸发 | 兼容主流真空系统 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 钴钨蒸发材料(CoW) | 高硬度、高温稳定 | 耐磨与功能薄膜 |
| 纯钴(Co) | 磁性强 | 磁性功能薄膜 |
| 纯钨(W) | 高熔点、耐高温 | 高温结构薄膜 |
| 钴铬(CoCr) | 耐磨耐蚀 | 表面工程涂层 |
Q1:CoW 蒸发材料适合哪种沉积方式?
A:适用于热蒸发和电子束蒸发工艺,尤其适合高熔点合金薄膜制备。
Q2:CoW 薄膜的主要优势是什么?
A:具备优异的高温稳定性、硬度及良好的结构可靠性。
Q3:合金比例可以定制吗?
A:可以,根据硬度、磁学或耐热需求定制 Co/W 比例。
Q4:是否适合高功率蒸发?
A:适合,在电子束蒸发条件下表现稳定。
Q5:膜层附着力表现如何?
A:对硅、玻璃及多种金属基底具有良好附着性能。
Q6:是否可用于多层或复合薄膜结构?
A:可以,常作为结构强化层或功能过渡层使用。
Q7:与纯钨薄膜相比有何不同?
A:CoW 在保持耐高温的同时,引入磁学与结构调控能力。
Q8:科研应用中常见用途有哪些?
A:高温合金薄膜、磁学与结构稳定性机理研究。
所有钴钨蒸发材料在出厂前均经过成分、尺寸与外观检测,并贴附唯一可追溯标签。产品采用真空密封包装,结合防震缓冲材料与出口级包装方案,确保在运输与储存过程中保持高纯度与稳定性能。
钴钨蒸发材料(CoW)通过将钴的磁学与结构调控能力与钨的高熔点、高硬度特性相结合,为高温、耐磨及功能薄膜提供了一种性能可靠、工艺成熟的合金解决方案。对于需要高温稳定性、结构可靠性与工艺一致性的真空蒸发应用,CoW 是一种值得信赖的蒸发材料选择。
如需了解更多技术参数或获取报价,请联系:sales@keyuematerials.com
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