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钴钛蒸发材料通常采用高纯钴与高纯钛为原料,通过真空熔炼或合金化烧结工艺制备,确保合金成分均匀、组织致密、杂质含量严格受控。
纯度等级:99.9%(3N)–99.99%(4N),满足高端薄膜沉积需求
合金比例:Co/Ti 比例可按质量比或原子比定制,用于调节薄膜的磁学特性、附着力与扩散行为
界面与附着性能:钛元素显著提升薄膜与硅、氧化物及金属基底之间的结合强度
蒸发稳定性:合金化结构有助于改善多组分蒸发一致性,降低成分偏析
供货形态:颗粒、块状、片状或定制形态,适配钨舟、钼舟及电子束坩埚等多种蒸发源
通过合理的材料设计,可获得致密、均匀、附着力优良的 CoTi 合金薄膜。
钴钛蒸发材料在多个磁性与功能薄膜领域中具有典型应用,包括:
磁性与自旋电子器件:磁性层、界面调控层
微电子与半导体制造:扩散阻挡层、功能过渡层
多层金属薄膜结构:提高界面稳定性与可靠性
功能镀膜与表面工程:结构强化与耐环境薄膜
科研与实验室应用:磁学薄膜、界面反应与结构演化研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 合金成分 | Co–Ti(比例可定制) | 决定磁学与界面性能 |
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 影响薄膜缺陷与可靠性 |
| 形态 | 颗粒 / 块状 / 片状 | 适配不同蒸发源 |
| 尺寸范围 | 1 – 10 mm(颗粒)或定制 | 影响蒸发速率与均匀性 |
| 蒸发方式 | 热蒸发 / 电子束蒸发 | 兼容主流真空系统 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 钴钛蒸发材料(CoTi) | 磁学+附着力可调 | 磁性与界面薄膜 |
| 纯钴(Co) | 磁性强 | 磁性功能薄膜 |
| 纯钛(Ti) | 附着力优异 | 过渡与粘附层 |
| 钴钨(CoW) | 高温稳定性高 | 耐磨与高温薄膜 |
Q1:CoTi 蒸发材料适合哪种沉积方式?
A:适用于热蒸发和电子束蒸发工艺,常用于多层与磁性薄膜结构。
Q2:CoTi 薄膜的主要优势是什么?
A:在保持磁学性能的同时,显著提升薄膜的界面附着力与稳定性。
Q3:合金比例可以定制吗?
A:可以,根据磁性强度、附着力或扩散控制需求定制 Co/Ti 比例。
Q4:CoTi 是否可作为扩散阻挡层?
A:在部分器件结构中可作为功能性过渡或阻挡层使用。
Q5:是否适合高功率电子束蒸发?
A:适合,蒸发过程稳定,适用于科研与中试工艺。
Q6:膜层附着力表现如何?
A:对硅、玻璃、氧化物及多种金属基底具有优良附着性能。
Q7:是否可用于多层磁结构?
A:可以,常与 Fe、Ni、Co 等材料组合形成多层磁结构。
Q8:科研应用中常见用途有哪些?
A:磁学界面调控、扩散机理及薄膜结构演化研究。
所有钴钛蒸发材料在出厂前均经过成分、尺寸与外观检测,并贴附唯一可追溯标签。产品采用真空密封包装,结合防震缓冲材料与出口级包装方案,确保在运输与储存过程中保持高纯度与稳定性能。
钴钛蒸发材料(CoTi)通过将钴的磁学特性与钛优异的界面附着能力相结合,为磁性薄膜与多层结构提供了一种性能可调、工艺成熟且可靠性高的合金蒸发材料方案。对于需要磁学调控与界面稳定性并重的真空蒸发应用,CoTi 是一种值得信赖的工程级材料选择。
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