钨蒸发材料(W)

钨蒸发材料(W)

产品简介(Introduction)

钨(Tungsten,W)是一种典型的难熔金属,以其极高的熔点、优异的高温强度、低蒸气压和卓越的热稳定性而著称。钨蒸发材料在高温真空蒸发、电子束蒸发以及特殊功能薄膜制备中具有不可替代的地位,广泛应用于半导体、真空电子、光学镀膜及先进材料研究领域。

作为蒸发材料,钨在高温条件下表现出极佳的尺寸稳定性和成分稳定性,特别适合 电子束蒸发(E-beam Evaporation) 以及高功率蒸发工艺,是制备高致密金属膜和功能薄膜的重要材料。


产品详情(Detailed Description)

钨蒸发材料采用高纯金属钨粉或钨锭为原料,经粉末冶金、烧结与精加工工艺制备,严格控制杂质含量,确保蒸发过程稳定可控。

  • 化学符号: W

  • 原子量: 183.84

  • 纯度: 99.9% – 99.999%(3N–5N,可定制)

  • 熔点: ~3422 °C

  • 沸点: ~5555 °C

  • 蒸气压: 极低(高温下稳定)

  • 形态: 颗粒 / 小块 / 片状 / 丝材 / 定制形态

  • 适用蒸发方式: E-beam Evaporation(推荐) / 高温热蒸发

  • 兼容蒸发源: 水冷铜坩埚、电子束蒸发源、钨舟(特殊工况)

高纯钨蒸发材料可显著降低杂质引入,提升薄膜的结构致密度、电学稳定性和耐高温性能。


应用领域(Applications)

● 半导体与微电子

  • 金属互连层

  • 阻挡层与扩散阻挡层

  • 接触层与电极薄膜

● 真空电子与高温器件

  • 真空电子器件金属薄膜

  • 高温结构功能层

  • 高功率电子束蒸发涂层

● 光学与功能镀膜

  • 反射层与功能金属膜

  • 红外与特殊光学系统金属层

  • 多层光学结构中的金属中间层

● 科研与先进材料研究

  • 难熔金属薄膜研究

  • 高温物性实验

  • 与氧化物、氮化物形成复合薄膜结构


技术参数(Technical Parameters)

参数 典型值 / 范围 重要性说明
纯度 99.9%–99.999% 决定薄膜电学与结构性能
熔点 ~3422 °C 适合极高温蒸发
沸点 ~5555 °C 蒸发过程稳定
蒸气压 极低 膜层成分稳定
形态 粒 / 块 / 丝 / 片 适配不同蒸发源
推荐工艺 E-beam 高效率、高可控性

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 主要特点 典型应用
W 超高熔点、稳定 高温金属薄膜
Mo 熔点高、易加工 电极与互连
Ta 耐腐蚀性强 阻挡层
Re 高温强度优异 特殊高端应用
Ti 反应性强 粘附层

常见问题(FAQ)

  • 钨适合热蒸发吗?
    由于熔点极高,通常推荐使用电子束蒸发。

  • 是否可提供 5N 高纯钨?
    可以,适用于半导体与科研应用。

  • 钨蒸发材料常见形态有哪些?
    常见为颗粒、块状、片状和钨丝,可定制。

  • 是否适合制备致密金属膜?
    是的,钨膜致密、稳定、耐高温。

  • 是否支持定制尺寸与形态?
    支持,根据蒸发源和工艺需求定制。


包装与交付(Packaging)

  • 真空密封或惰性气体保护包装

  • 防氧化、防污染处理

  • 抗震包装

  • 出口级运输标准

  • 随附 COA 与批次追溯信息


结论(Conclusion)

钨蒸发材料(W)凭借其极高熔点、卓越的热稳定性和极低蒸气压,在高温真空蒸发、电子束蒸发及先进薄膜制备中占据关键地位。高纯钨蒸发材料能够显著提升薄膜质量与工艺可靠性,是半导体、真空电子与科研领域中不可或缺的难熔金属材料。

📧 如需技术参数、报价或定制形态,请联系:
sales@keyuematerials.com