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苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、多形态、性能稳定的钽蒸发材料，满足科研级与工业级薄膜制备需求。
纯度：99.9%（3N）– 99.99%（4N）
材料形态：
颗粒（Pellets / Granules）
块状（Pieces / Chunks）
条状 / 小锭（Bars / Mini Ingots）
定制形态（匹配电子束坩埚或蒸发舟）
典型尺寸：1–3 mm、3–6 mm（支持定制）
加工工艺：真空熔炼、粉末冶金、精密切割
表面状态：金属本征态，灰银色金属光泽
包装方式：真空密封或惰性气体保护
熔点极高（≈3017 °C），适合高功率蒸发
蒸发稳定性好，适合厚膜与致密薄膜沉积
与 Si、SiO₂、Low-k 材料兼容性优异
可用于反应蒸发制备 Ta₂O₅、TaN 等功能薄膜
薄膜应力低、可靠性高，适合微电子应用
钽（Ta）蒸发材料主要应用于以下领域：
用于 Cu / Al 互连结构中，防止金属扩散，提升器件可靠性。
作为稳定电极材料，应用于存储器、电容器及集成电路。
在氧气或氮气环境中形成 Ta₂O₅、TaN 等高介电或阻挡薄膜。
用于高稳定性光学膜、功能调控层。
用于高温金属薄膜、界面工程及器件可靠性研究。
| 参数 | 典型范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 3N–4N | 高纯度降低杂质扩散 |
| 形态 | 颗粒 / 块状 / 定制 | 适配不同蒸发源 |
| 粒径 | 1–6 mm | 适合稳定电子束蒸发 |
| 蒸发方式 | 电子束蒸发 / 高温热蒸发 | 高功率工艺稳定 |
| 包装 | 真空 / 惰性气体 | 防止表面污染 |
| 材料 | 主要特点 | 典型应用 |
|---|---|---|
| Ta | 高熔点、稳定性极高 | 阻挡层、电极 |
| Ti | 附着力强 | 粘附层 |
| W | 熔点更高 | 高温结构薄膜 |
| Mo | 成本较低 | 金属互连 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| 钽蒸发材料适合哪种蒸发方式？ | 非常适合电子束蒸发，也可用于高温热蒸发。 |
| 钽是否容易氧化？ | 常温下稳定，高温下需真空或惰性气氛。 |
| 是否可用于反应蒸发？ | 可以，用于制备 Ta₂O₅、TaN 薄膜。 |
| 是否支持小颗粒规格？ | 支持 1–3 mm 颗粒。 |
| 是否可定制形态？ | 可按 E-beam 炉或坩埚定制。 |
| 是否可提供成分检测报告？ | 可按需提供 ICP、GDMS 等检测文件。 |
真空密封或惰性气体封装
防震缓冲包装
独立批次标签，便于追溯
出口级纸箱或木箱
适合科研小批量与工业稳定供货
钽蒸发材料（Ta）凭借其极高的熔点、卓越的化学稳定性与优异的薄膜可靠性，在半导体互连、扩散阻挡层及高端功能薄膜制备中占据核心地位。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、多形态、可定制的钽蒸发材料，为科研与工业级真空蒸发工艺提供可靠、稳定的材料解决方案。
如需报价或技术支持，请联系：
📧 sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属（3N~6N）、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案，服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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