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苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高一致性的钪蒸发材料,满足科研级与产业级真空蒸发系统的严格要求。
纯度:99.9%(3N)– 99.99%(4N)
材料形态:
颗粒(Pellets / Granules)
块状(Pieces / Chunks)
小锭(Mini Ingots)
定制形态(匹配蒸发舟、坩埚或 MBE 蒸发源)
典型尺寸:1–3 mm、3–6 mm(支持定制)
加工工艺:真空熔炼、惰性气氛切割
表面状态:银灰色金属态,允许轻微表面钝化
包装方式:真空密封或惰性气体(Ar)保护
原子半径小,易形成高致密薄膜
易与氧、氮反应,适合反应蒸发
在宽禁带半导体中具有重要掺杂价值
薄膜结构稳定,界面质量优良
与多种氧化物、氮化物体系高度兼容
钪(Sc)蒸发材料主要应用于以下领域:
用于制备 ScN、AlScN 等材料,应用于功率电子与压电器件。
作为金属源制备 Sc₂O₃ 等高介电常数氧化物薄膜。
用于调控半导体薄膜的能带结构与载流子特性。
AlScN 等材料在 SAW / BAW 器件中具有重要应用。
用于研究稀散金属在薄膜生长、界面工程与器件物理中的作用。
| 参数 | 典型范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 3N–4N | 高纯度有利于薄膜性能一致性 |
| 形态 | 颗粒 / 块状 / 定制 | 适配不同蒸发源 |
| 粒径 | 1–6 mm | 有利于稳定蒸发 |
| 蒸发方式 | 热蒸发 / 电子束蒸发 / MBE | 工艺兼容性强 |
| 包装 | 真空 / 惰性气体 | 防止氧化与污染 |
| 材料 | 主要特点 | 典型应用 |
|---|---|---|
| Sc | 掺杂与界面调控能力强 | 宽禁带半导体 |
| Al | 成熟度高 | 结构与导电层 |
| Y | 稀土调控 | 功能氧化物 |
| Ga | 半导体属性明显 | 化合物半导体 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| 钪蒸发材料适合哪种蒸发方式? | 适合电子束蒸发、热蒸发及 MBE。 |
| 钪是否容易氧化? | 是,需真空或惰性气体严格保存。 |
| 是否适合制备 AlScN 薄膜? | 非常适合,是核心掺杂金属源。 |
| 是否可提供小颗粒规格? | 支持 1–3 mm 颗粒。 |
| 是否支持定制形态? | 支持,根据蒸发源结构定制。 |
| 是否可提供成分检测报告? | 可按需提供 ICP、GDMS 等检测文件。 |
真空密封或惰性气体封装
防震缓冲包装
独立批次标签,便于追溯
出口级纸箱或木箱
适合科研小批量与工业稳定供货
钪蒸发材料(Sc)作为高价值稀散金属蒸发源,在宽禁带半导体、功能氧化物、压电薄膜及前沿材料研究中具有不可替代的作用。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、多形态、可定制的钪蒸发材料,为高端薄膜制备与科研应用提供稳定、可靠的材料支持。
如需报价或技术支持,请联系:
📧 sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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