产品详情(Detailed Description)
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纯度等级:常规提供 3N–4N 高纯铼材料,杂质含量低,有效减少薄膜缺陷与颗粒污染。
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材料特性:熔点约 3186 °C,蒸气压极低,在高温下仍具优异尺寸与成分稳定性。
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形态规格:可提供颗粒、片状、块状或定制几何形态,适配电子束蒸发源与高温蒸发舟。
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工艺适配性:特别适合高真空、超高真空(UHV)环境,适用于长时间连续蒸发工艺。
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膜层表现:铼薄膜致密、附着力强,在高温或高能环境下具有良好的结构稳定性。
应用领域(Applications)
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半导体与微电子
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高温金属薄膜
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扩散阻挡层、功能电极层
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真空电子与航天器件
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真空管、阴极及耐高温结构薄膜
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科研与先进材料研究
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高熔点金属薄膜实验
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极端条件材料性能研究
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特种功能涂层
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耐高温、耐辐照与高可靠性涂层体系
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技术参数(Technical Parameters)
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 化学成分 | Re | 超高熔点金属 |
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 降低薄膜杂质与缺陷 |
| 熔点 | ~3186 °C | 适合极高温蒸发 |
| 蒸发方式 | 电子束蒸发 / 高温热蒸发 | 工艺稳定性高 |
| 形态 | 颗粒 / 块状 / 定制 | 适配不同蒸发源 |
相关材料对比(Comparison with Related Materials)
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 铼(Re) | 超高熔点、极低蒸气压 | 高温薄膜、科研蒸发 |
| 钨(W) | 高熔点、成本较低 | 通用高温薄膜 |
| 钽(Ta) | 良好化学稳定性 | 扩散阻挡层 |
常见问题(FAQ — 聚焦应用)
Q1:铼蒸发材料适合哪种蒸发方式?
A:主要用于电子束蒸发,也可在特定条件下进行高温热蒸发。
Q2:为什么高温薄膜更倾向选用铼?
A:铼具有极高熔点和低蒸气压,可在高温下保持稳定蒸发与膜层质量。
Q3:铼薄膜的附着力如何?
A:在多种金属和陶瓷基底上均表现出良好的附着性能。
Q4:是否支持定制规格?
A:可根据蒸发源结构和工艺要求定制形态与尺寸。
Q5:适合科研还是量产应用?
A:既适合高端科研实验,也可用于小批量高可靠性工业应用。
包装与交付(Packaging)
所有铼蒸发材料在出厂前均经过严格检测,并采用真空密封或惰性气体保护包装,配合防震与出口级包装方案,确保材料在运输与储存过程中的洁净度与稳定性。
结论(Conclusion)
铼蒸发材料凭借超高熔点、稳定的蒸发行为和卓越的薄膜可靠性,在极端条件薄膜制备和高端科研应用中具有不可替代的价值,是高温真空蒸发领域的关键材料之一。
如需了解更多技术参数或获取报价,请联系:sales@keyuematerials.com
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