铂蒸发材料（Pt）

产品详情（Detailed Description）

• 高纯度控制：常规提供 3N–4N 及以上纯度铂蒸发材料，有效降低杂质引入，满足精密薄膜与科研级应用需求。

• 材料特性：熔点约 1768 °C，蒸气压低且稳定，适合长时间连续蒸发与高一致性成膜。

• 形态规格：可提供颗粒、片状、块状、丝材或按需定制形态，兼容电阻加热蒸发舟及电子束蒸发源。

• 成膜性能：铂薄膜致密、均匀，具有良好的导电性、耐腐蚀性和长期结构稳定性。

• 工艺适配性：适用于高真空与超高真空（UHV）系统，对多种基底材料具有良好附着力。

应用领域（Applications）

• 半导体与微电子

  • 电极层、接触层

  • 扩散阻挡层、功能金属层

• 传感器与MEMS

  • 气体传感器电极

  • MEMS 功能薄膜

• 光学与光电器件

  • 高稳定反射层

  • 特殊功能光学薄膜

• 科研与实验室应用

  • 催化与表面反应研究

  • 高温薄膜与界面研究

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ — 聚焦应用）

Q1：铂蒸发材料适合哪种蒸发工艺？
A：可用于电阻加热蒸发与电子束蒸发系统，尤其适合高真空环境。

Q2：为什么高端器件常选用铂薄膜？
A：铂具有优异的化学惰性和热稳定性，可在苛刻条件下长期保持性能稳定。

Q3：铂薄膜的附着力如何？
A：在硅、氧化物、玻璃及多种陶瓷基底上均表现出良好附着性。

Q4：是否支持小批量或定制规格？
A：支持科研与工业用户的小批量及定制化需求。

Q5：更适合科研还是量产？
A：适合科研、试产及高附加值小批量工业应用。

包装与交付（Packaging）

所有铂蒸发材料在出厂前均经过严格检测，采用真空密封或惰性气体保护包装，并配合防震与出口级包装方案，确保材料在运输与储存过程中的洁净度与安全性。

结论（Conclusion）

铂蒸发材料凭借卓越的稳定性、可靠的蒸发行为和优异的薄膜性能，在半导体、传感器与高端科研薄膜制备中占据核心地位，是贵金属蒸发材料体系中长期验证、值得信赖的关键材料。
如需了解更多技术参数或获取报价，请联系：sales@keyuematerials.com