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纯度等级:常规提供 3N–4N 及以上高纯铌,杂质含量低,有助于降低薄膜缺陷与界面污染。
材料特性:熔点约 2477 °C,蒸气压低,在高温蒸发条件下仍保持稳定蒸发行为。
形态规格:提供颗粒、片状、块状、丝材或按需定制几何形态,适配电子束蒸发源与高温蒸发舟。
工艺适配性:适用于高真空/UHV 系统,兼容金属、氧化物、陶瓷及半导体基底。
成膜表现:铌薄膜致密均匀,附着力好,适合后续反应性退火或反应溅射/蒸发工艺。
半导体与微电子
电极层、功能金属层
扩散阻挡层与种子层
超导与量子器件
超导铌薄膜(Nb)
NbN、NbTiN 等相关体系前驱材料
光学与功能涂层
铌氧化物(Nb₂O₅)高折射率薄膜
科研与实验室
难熔金属薄膜研究
表面与界面物性实验
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 化学成分 | Nb | 难熔功能金属 |
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 降低薄膜杂质 |
| 熔点 | ~2477 °C | 适合高温蒸发 |
| 蒸发方式 | 电子束蒸发 / 高温热蒸发 | 工艺稳定 |
| 形态 | 颗粒 / 块状 / 丝材 / 定制 | 适配多种蒸发源 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 铌(Nb) | 高熔点、反应可控 | 超导与功能薄膜 |
| 钽(Ta) | 极高化学稳定性 | 扩散阻挡层 |
| 钨(W) | 更高熔点 | 极端高温薄膜 |
Q1:铌蒸发材料适合哪种蒸发工艺?
A:主要用于电子束蒸发,也可在高功率条件下进行高温热蒸发。
Q2:铌薄膜常见用途有哪些?
A:用于金属电极、超导薄膜以及铌氧化物和铌氮化物薄膜的制备。
Q3:铌在反应性气氛中的表现如何?
A:铌对氧、氮具有良好的反应可控性,适合反应性蒸发与后续处理。
Q4:是否支持定制形态与尺寸?
A:支持根据蒸发源结构和工艺需求进行定制。
Q5:更偏向科研还是工业应用?
A:同时适合科研实验与小批量高附加值工业应用。
所有铌蒸发材料在出厂前均经过严格检测,采用真空密封或惰性气体保护包装,并配合防震与出口级包装方案,确保运输与储存过程中的洁净度与材料稳定性。
铌蒸发材料凭借高熔点、稳定的蒸发行为与广泛的功能薄膜适配性,在半导体、超导器件及先进科研薄膜制备中具有重要地位,是难熔金属蒸发材料体系中的核心成员之一。
如需了解更多技术参数或获取报价,请联系:sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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