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锰蒸发材料(Manganese Evaporation Material, Mn)是磁性材料、功能合金薄膜及新型电子材料研究中常用的重要金属蒸发源。锰在薄膜体系中常作为成分调控元素或功能掺杂元素,可显著影响薄膜的磁性、电学性能与晶体结构,因此在自旋电子学、磁存储及先进材料研发领域具有独特价值。
在高真空蒸发条件下,高纯锰能够实现稳定、可控的蒸发行为,为多元合金薄膜和功能薄膜提供可靠的元素来源。
锰蒸发材料选用高纯电解锰或真空精炼锰为原料,通过真空熔炼、破碎、分级与严格的氧含量控制工艺制备,适用于多种 PVD 蒸发系统。
纯度范围:99.9% – 99.99%(3N–4N)
材料形态:颗粒、块状、小片状,可定制
制造工艺:真空熔炼 + 精密破碎 / 筛分
表面状态:低氧化、低挥发杂质,适合高真空使用
由于锰对氧较为敏感,高纯、低氧控制对其蒸发性能尤为关键,可有效:
降低蒸发过程中的氧污染风险;
保证合金薄膜成分的可重复性;
提高薄膜均匀性与结构一致性;
改善磁性与电学性能稳定性。
磁性与自旋电子学薄膜:Mn 基磁性合金、反铁磁层
合金与功能薄膜沉积:Mn 掺杂金属或氧化物薄膜
半导体与微电子研究:功能掺杂层、调控层
能源与催化相关薄膜:电化学与功能界面材料
科研实验:多元薄膜、相变与磁性机制研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 降低杂质与氧含量 |
| 形态 | 颗粒 / 块状 / 定制 | 适配不同蒸发源 |
| 单颗粒尺寸 | 可定制 | 影响蒸发速率与稳定性 |
| 熔点 | ~1246 °C | 适合中高温蒸发 |
| 适用工艺 | 热蒸发 / 电子束蒸发 | 兼容主流 PVD 系统 |
| 包装方式 | 真空密封 | 防止氧化与吸附污染 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 锰(Mn)蒸发材料 | 磁性调控、成分掺杂 | 磁性与合金薄膜 |
| 铁(Fe) | 强铁磁性 | 磁性功能层 |
| 钴(Co) | 高磁各向异性 | 高性能磁薄膜 |
| 镍(Ni) | 稳定导电性 | 电极与合金薄膜 |
Q1:锰蒸发材料适合哪种蒸发方式?
A:适用于热蒸发和电子束蒸发系统,常用于合金与掺杂薄膜制备。
Q2:锰为什么常作为掺杂元素使用?
A:锰能显著影响薄膜的磁性、电学与结构特性,适合成分精细调控。
Q3:锰蒸发时对真空度要求高吗?
A:是的,建议在高真空条件下使用,以避免氧化和成分偏移。
Q4:锰薄膜容易氧化吗?
A:相对容易,因此高纯原料与良好真空控制尤为重要。
Q5:可以与其他金属共蒸发吗?
A:可以,常与 Fe、Co、Ni 等金属共蒸发制备磁性合金薄膜。
Q6:颗粒尺寸会影响蒸发稳定性吗?
A:会,均匀颗粒有助于稳定蒸发速率和膜厚控制。
Q7:锰薄膜的附着力如何?
A:在合适工艺条件下,对多种基底具有良好附着性。
Q8:是否适合科研级应用?
A:非常适合,尤其在磁性与新型功能材料研究中。
Q9:锰蒸发材料是否需要特殊储存?
A:建议真空或惰性气体密封保存,避免长期暴露空气。
Q10:是否支持定制规格?
A:支持,可根据蒸发设备和工艺需求定制形态与尺寸。
所有锰蒸发材料在出厂前均经过严格检测,并附有完整批次追溯标识。产品采用真空密封、防震缓冲及出口级包装,最大限度降低氧化风险,确保材料在运输与储存中的稳定性。
锰蒸发材料(Mn)在磁性薄膜与多元合金薄膜制备中发挥着不可替代的作用。其在成分调控与功能设计方面的独特优势,使其成为科研与先进薄膜工程中重要的蒸发材料选择。
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