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氧化锶铅靶材（SrPbO）是一类用于磁控溅射、离子束镀膜等薄膜沉积工艺的复杂氧化物靶材，常用于研究新型铁电材料、钙钛矿结构薄膜、高介电常数材料以及相关的电子与光电器件。
该材料具有良好的晶体结构可控性、电介质特性及稳定性，是先进电子材料研发中常见的功能性氧化物靶材之一。
其独特的 Sr–Pb–O 组成，使其适用于多层结构薄膜、电容器介电层、光电转换层以及铁电调控应用。
苏州科跃材料科技有限公司可制备高纯度、高致密度的 SrPbO 溅射靶材，适配科研院校与工业薄膜制备需求。
典型规格：
纯度：99.9%（3N）
尺寸：圆形靶直径 25–300 mm，矩形靶可定制
厚度：3–6 mm
工艺：CIP 冷等静压成形 + 高温固相烧结，部分型号可提供 HIP（热等静压）增密
密度：≥ 90–95% 理论密度
结构：均匀细密，无明显孔洞或裂纹
背板结合（可选）：Cu / Ti 背板 + Indium bonding（提升散热、降低裂纹风险）
致密度高：提高薄膜均匀性、介电特性与长期稳定性。
成分均匀性好：保证元素在溅射过程中的一致挥发性与成膜成分稳定性。
热稳定性强：适用于长时间溅射工艺，降低靶材塌陷与崩边风险。
薄膜质量优异：可形成平滑、结构均匀的氧化物薄膜层。
氧化锶铅（SrPbO）靶材广泛应用于多种先进薄膜材料研究：
铁电材料薄膜（Pb/Sr 系铁电氧化物）
高介电常数介质层
多层电子结构（superlattice）
钙钛矿结构研究与材料探索
传感器薄膜
光电功能层
科研实验（新型复杂氧化物研究、材料调控实验）
其在功能氧化物材料体系中具有重要地位，常用于研究非线性介电性、铁电性、磁电耦合等特性。
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%（3N） | 成膜成分稳定性更高 |
| 尺寸 | 25–300 mm 可定制 | 适配 DC / RF 磁控溅射设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 影响溅射速率与靶寿命 |
| 密度 | ≥ 90–95% TD | 膜层致密性与均匀性的核心因素 |
| 工艺 | CIP / 烧结 / HIP | 决定靶材结构稳定度 |
| 背板 | Cu / Ti / In 焊接 | 提升散热与结构强度 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| SrPbO | 可稳定形成复杂氧化物薄膜 | 铁电薄膜、介电薄膜 |
| PbO | 适合铁电材料基底研究 | PZT 系材料 |
| SrTiO₃ | 经典钙钛矿结构材料 | 外延衬底、光电材料 |
| BaTiO₃ | 高介电常数 | 电容层薄膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| SrPbO 靶材适合 DC 还是 RF 溅射？ | 建议使用 RF 溅射，氧化物靶材在 RF 下稳定性更高。 |
| 是否容易出现溅射中毒？ | 属于氧化物材料，不存在金属靶常见的中毒现象。 |
| 是否可用于多层结构研究？ | 可，与 SrTiO₃、BaTiO₃、PbTiO₃ 等常组合应用。 |
| 是否需要背板？ | 大尺寸靶材建议 Cu 背板 + 铟焊以增强散热。 |
| 适合做铁电薄膜吗？ | 是，用于探索铁电性与介电性能的材料体系。 |
| 可以共溅射吗？ | 可与 PbO、SrTiO₃、La 系材料共溅射调整组成。 |
| 是否易开裂？ | 高致密烧结工艺可有效降低开裂风险。 |
| 储存是否有特殊要求？ | 常温干燥环境即可，避免剧烈碰撞。 |
所有 SrPbO 靶材均采用真空封装、防震缓冲、外层木箱保护，并贴附唯一追溯二维码，确保运输安全与质量可追踪。
氧化锶铅靶材（SrPbO）是功能氧化物薄膜研究中的重要材料之一，可用于介电、铁电、钙钛矿结构等多种先进薄膜研究。苏州科跃材料可提供高纯度、高致密、高稳定性的 SrPbO 溅射靶材，支持各种尺寸与背板定制。
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属（3N~6N）、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案，服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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