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氧化锶铜(SrCuO)靶材是一类典型的过渡金属氧化物靶材,常用于研究钙钛矿结构、多晶薄膜、氧化物导体以及新型光电与能量材料。
SrCuO 以其独特的金属–氧相互作用与电子结构特性,被广泛应用于功能薄膜、电催化薄膜、薄膜超导材料前驱体系以及光电转换研究。
在磁控溅射、离子束溅射等真空沉积技术中,SrCuO 靶材能够形成成分均匀、结构稳定且具有优良附着力的复杂氧化物薄膜,是科研与试制应用中的常用材料。
苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度的 SrCuO 溅射靶材,适用于高端薄膜实验室、研究机构及相关企业。
典型规格参数:
纯度: 99.9% (3N)
尺寸: 直径 25–300 mm 的圆形靶、矩形靶可定制
厚度: 3–6 mm
制造工艺: CIP(冷等静压)成型 + 高温固相烧结,可选 HIP 热等静压增密
密度: ≥ 90–95% 理论密度
背板结合(可选): Cu / Ti 背板 + Indium bonding(提升散热与使用寿命)
外观: 微细陶瓷质感、结构均匀、无裂纹孔洞
元素分布均匀:保证薄膜成分质量一致性
高致密度结构:提高薄膜附着力与耐久性
热稳定性优异:适用于中高功率溅射过程
薄膜成型质量佳:表面粗糙度低、膜层均匀
SrCuO 溅射靶材在多种氧化物薄膜体系中有重要作用:
钙钛矿结构薄膜研究
氧化物导体与透明导电薄膜(TCO)
超导前驱材料薄膜
光电材料与功能层沉积
电催化膜、传感器薄膜
复杂氧化物物性研究(磁性、导电性、光吸收等)
特别适用于探索 Cu–O 键合特性及其在光电、能量转换和新型导电材料中的表现。
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%(3N) | 有助于获得低缺陷薄膜 |
| 尺寸 | 25–300 mm | 适配 DC/RF 溅射设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 决定溅射速率与靶寿命 |
| 密度 | ≥ 90–95% TD | 决定膜层致密性与均匀性 |
| 制备工艺 | CIP / 烧结 / HIP | 提升靶材稳定性 |
| 背板 | Cu / Ti / 铟焊 | 加强散热与机械强度 |
| 材料 | 主要特性 | 典型应用 |
|---|---|---|
| SrCuO | Cu–O 功能氧化物,电学可调性强 | 光电与导电薄膜 |
| SrTiO₃ | 经典钙钛矿氧化物 | 外延衬底、光电层 |
| CuO | 强吸收性、电子结构独特 | 光吸收/催化薄膜 |
| SrVO₃ | 金属氧化物导体 | TCO、电子层结构 |
| 问题 | 回答 |
|---|---|
| SrCuO 适合 RF 还是 DC 溅射? | 建议使用 RF 溅射,复杂氧化物靶材 RF 稳定性更佳。 |
| 是否容易出现靶材开裂? | 使用 HIP / CIP 工艺可有效降低风险。 |
| 需要背板吗? | 大尺寸靶材建议使用铜背板 + 铟焊结合。 |
| 可用于多层复合结构吗? | 可与 CuO、SrTiO₃、La 系等共溅射。 |
| 储存方式? | 常温干燥保存,避免碰撞。 |
所有 SrCuO 靶材均采用真空密封包装、泡沫缓冲、外层木箱保护,并附唯一追溯编码,保证运输过程中的安全与质量可控性。
氧化锶铜(SrCuO)靶材是一类功能丰富的铜基氧化物材料,适用于光电薄膜、导电薄膜、超导前驱结构以及复杂氧化物性能研究。苏州科跃材料可提供高致密度、高稳定性且支持定制规格的 SrCuO 溅射靶材,适合科研与小规模量产需求。
如需获取报价或技术参数,请联系:
📧 sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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