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氧化钕钆（NdGdO）是一类稀土复合氧化物靶材，具有优异的结构稳定性、电学与光学特性，是功能性薄膜、介电材料、磁光材料以及稀土掺杂体系研究中的重要材料。
Nd 与 Gd 的协同作用使该材料兼具稀土氧化物的高稳定性与独特物性，可在薄膜沉积过程中形成致密、平滑且可控的复杂氧化物薄膜，非常适用于科研院所和先进材料实验室。
苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度、高致密度的 NdGdO 溅射靶材，针对薄膜沉积工艺对均匀性、密度和稳定性的要求进行优化，支持多种尺寸与背板定制。
典型规格参数：
纯度： 99.9%（3N）
尺寸： Φ25–300 mm，可按需定制矩形靶
厚度： 3–6 mm（支持更厚或更薄）
密度： ≥90–95% TD
制造工艺： CIP（冷等静压）+ 高温固相烧结
可选工艺： HIP 热等静压（更高致密度）
外观： 深灰微陶瓷结构，表面均匀
背板（可选）： Cu / Ti / Mo + Indium Bonding
成分均匀性高：确保薄膜组分稳定，不偏析
热机械稳定性出色：降低溅射过程中的开裂与剥落风险
表面平整度高：减少薄膜缺陷，提高附着力
低孔隙率结构：提升薄膜密度与光学、电学性能
适配 DC 与 RF 磁控溅射系统
NdGdO 靶材广泛应用于多种新型功能薄膜研究，包括：
稀土氧化物薄膜
介电层薄膜（dielectric films）
磁光材料（magneto-optical films）
功能陶瓷膜
稀土掺杂体系与光学调控材料
电子封装、绝缘层薄膜
高温高稳定性薄膜结构研究
多层复合结构中的阻挡层或衬底材料
其稳定的晶体结构和良好的化学惰性，使其广泛用于光电、微电子、磁性材料以及基础科研领域。
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%（3N） | 保证薄膜缺陷少，稳定性更高 |
| 直径 | 25–300 mm | 兼容主流溅射设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 影响靶寿命与沉积速率 |
| 密度 | ≥ 90–95% TD | 提升薄膜均匀性与电学性能 |
| 制备工艺 | CIP + 烧结 / HIP | 决定靶材结构致密性 |
| 背板结合 | Cu / Ti / Mo + Indium | 改善散热与抗热应力能力 |
| 材料 | 特性 | 应用 |
|---|---|---|
| NdGdO | 稳定性高、介电特性好 | 功能薄膜、光电结构 |
| Nd₂O₃ | 折射率高、良好绝缘性 | 光学薄膜、电子陶瓷 |
| Gd₂O₃ | 高介电、高透明度 | 光电器件、荧光材料 |
| NdAlO₃ | 钙钛矿结构 | 衬底材料、光电薄膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| NdGdO 适合 RF 还是 DC 溅射？ | 建议 RF 溅射以获得更稳定的成膜速率和均匀性。 |
| 是否容易出现靶材开裂？ | 使用 CIP/HIP 工艺可显著降低开裂风险。 |
| 可否用于多层复合结构？ | 可以，常用于介电结构、多层光电膜。 |
| 与哪些材料兼容？ | Nd₂O₃、Gd₂O₃、Al₂O₃、SiO₂、TiO₂ 等。 |
| 是否需要背板？ | 大尺寸靶材建议配 Cu/Ti 背板。 |
| 薄膜性能可调吗？ | 可通过退火、沉积气氛、功率调整靶膜特性。 |
| 是否适合做光学薄膜？ | 是，Nd–Gd 氧化物体系具备良好光学均匀性。 |
所有 NdGdO 溅射靶材经严格检测后，使用以下方式包装：
真空密封
防静电袋
防震泡沫
外层木箱/纸箱
并附唯一追踪编号，确保运输安全与质量可控。
氧化钕钆（NdGdO）靶材是一种高稳定性、广泛适用于光电与介电薄膜的复合稀土氧化物靶材。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度并支持多规格定制的 NdGdO 靶材，用于科研与高级薄膜制备需求。
如需报价或更多技术信息，请联系：
📧 sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属（3N~6N）、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案，服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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