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氧化镍钒靶材（NiVO）是一类过渡金属复合氧化物溅射靶材，融合了镍（Ni）与钒（V）在氧化物体系中的独特电子结构特性。Ni–V–O 体系通常表现出导电性、光学透过率、电阻可调性以及催化活性，因此 NiVO 靶材广泛应用于透明导电薄膜（TCO）、电催化膜、传感器薄膜、光电材料以及复杂氧化物功能膜研究。
其成膜性能稳定，可在 RF/DC 溅射中形成均匀致密的 Ni–V–O 薄膜，适用于科研实验、材料探索和功能薄膜试制。
苏州科跃材料科技有限公司严格控制 NiVO 靶材的粉末粒度、化学计量比与致密度，确保靶材在复杂氧化物溅射过程中的稳定性和成膜一致性。
典型规格参数：
纯度：99.9%（3N）
尺寸：直径 25–300 mm，可定制矩形靶
厚度：3–6 mm
密度：≥ 90–95% 理论密度（TD）
制造工艺：CIP 等静压成型 + 高温固相烧结
可选工艺：HIP 热等静压（更高致密度）
外观：深灰/黑灰陶瓷质感
背板选项：Cu / Ti / Mo + Indium bonding
成分均匀性高：减少溅射成膜的成分漂移
高致密度结构：有助于稳定长时间溅射
优良导电/光电特性：适用于 TCO 与功能膜
表面平整度佳：提高薄膜均匀性与附着力
兼容 RF 与 DC 溅射设备
NiVO 溅射靶材在多个电子与光电功能膜方向具有广泛用途：
透明导电薄膜（TCO）
氧化物半导体（Oxide Semiconductor）
气敏/湿敏/温度传感器薄膜
电催化薄膜（如 OER/ORR 研究）
光电转换薄膜
电阻可调薄膜、可控电阻器件（RRAM）
多层结构的功能膜复合
科研实验室的氧化物材料调控研究
Ni–V–O 体系具有调节电阻率、光吸收以及催化反应性的重要潜力，是当前功能材料研究的热点之一。
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%（3N） | 提升薄膜电学/光学稳定性 |
| 直径 | 25–300 mm | 兼容主流溅射腔体 |
| 厚度 | 3–6 mm | 影响靶寿命与溅射速率 |
| 密度 | ≥ 90–95% TD | 决定薄膜致密度与一致性 |
| 工艺 | CIP + 烧结 / HIP | 控制颗粒细腻度与抗裂性能 |
| 背板 | Cu / Ti / Mo + Indium | 改善散热、减少热应力开裂 |
| 适用设备 | DC / RF | 适配各类真空系统 |
| 材料 | 特性 | 应用 |
|---|---|---|
| NiVO | 可调电阻性、透明导电潜力 | TCO、传感器、催化薄膜 |
| NiO | p 型氧化物半导体 | TCO、光电薄膜 |
| V₂O₅ | 高氧化态钒氧化物 | 电催化、储能材料 |
| NiV 合金靶材 | 金属导电层 | 导电薄膜、阻挡层 |
| 问题 | 回答 |
|---|---|
| NiVO 靶材适合 RF 还是 DC 溅射？ | 皆可，但建议 RF 以获得较均匀的成膜质量。 |
| 是否容易出现溅射开裂？ | CIP/HIP 工艺显著降低开裂风险。 |
| 可否用于透明导电薄膜？ | 取决于成膜氧分压与比例调控，可实现一定 TCO 性能。 |
| 氧分压需要控制吗？ | 是，Ni–V–O 成膜性质强烈依赖氧分压。 |
| 可以与其他靶材共溅射吗？ | 可与 NiO、V₂O₅、ZnO 等组合开发复合材料。 |
| 储存方式？ | 常温干燥，避免潮湿与碰撞即可。 |
| 是否适用于多层结构？ | 是，常用作调控层、功能层或电阻层。 |
所有 NiVO 溅射靶材均采用：
真空密封袋
防静电包装
加厚缓冲材料
外层木箱/纸箱保护
并附唯一编号以确保全程可追溯。
氧化镍钒靶材（NiVO）是一种具有可调导电性、光电特性与催化性能的复合氧化物靶材，适用于光电膜、传感器、电催化、TCO 和先进薄膜结构开发。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度并支持多规格定制的 NiVO 靶材，以满足科研及高端薄膜制备需求。
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属（3N~6N）、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案，服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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