镍钼靶材(NiMo)

镍钼靶材(NiMo)

产品简介(Introduction)

镍钼靶材(NiMo)是一种由镍(Ni)与钼(Mo)组成的高性能金属合金靶材,具有优异的机械强度、耐腐蚀性、导电性与热稳定性。NiMo 合金在强酸、高温、高湿度的苛刻环境中表现稳定,是电子薄膜、电极层、阻挡层、耐腐蚀膜以及结构保护膜的重要材料之一。

由于 Mo 的加入显著提升了镍的耐腐蚀性和硬度,NiMo 靶材在半导体、真空镀膜、化工、能源设备和功能薄膜研究中拥有广泛应用。


产品详情(Detailed Description)

苏州科跃材料科技有限公司采用高纯镍与钼原料,通过真空熔炼、粉末冶金、冷等静压(CIP)与热等静压(HIP)等工艺制备 NiMo 靶材,靶材成分均匀、致密度高,适配 RF、DC、脉冲溅射等多种薄膜沉积设备。

典型规格:

  • 纯度:99.9%(3N)– 99.99%(4N)

  • 成分配比:常见如 Ni90Mo10、Ni80Mo20、Ni70Mo30(支持定制)

  • 尺寸:Ø25–Ø300 mm,可定制方片靶、矩形靶、阶梯靶

  • 厚度:3–6 mm(可按设备要求定制)

  • 密度:≥ 97–99% 理论密度(T.D.)

  • 工艺:CIP 成型 + 热压 / HIP 致密化

  • 背板(Bonding):可选 Cu / Ti / Mo 背板,支持铟焊(In Bonding)

性能优势:

  • 高耐腐蚀性能(适用于酸、盐雾、高湿环境)

  • 电学性能稳定,适用于金属电极薄膜

  • 成膜致密度高、附着力佳

  • 热稳定性强,可用于高温沉积工况

  • 成分均匀度高 → 适合精密电子薄膜


应用领域(Applications)

NiMo 靶材广泛用于功能性金属薄膜及保护膜领域,包括:

  • 耐腐蚀保护膜

  • 薄膜电极(Electrodes)

  • 金属阻挡层(Barrier Layers)

  • 高温结构保护膜

  • 化工行业用耐腐蚀薄膜

  • 微电子与半导体功能薄膜

  • 精密电阻膜层

  • 真空电镀、PVD 薄膜涂层

Mo 的加入可改善镍薄膜的硬度、结构稳定性与耐蚀性能,使 NiMo 成为耐久型金属薄膜的优选靶材。


技术参数(Technical Parameters)

参数 典型值 / 范围 说明
纯度 99.9%–99.99% 薄膜电学/结构性能更稳定
Ni:Mo 配比 任意可定制 影响薄膜硬度、耐腐蚀性
致密度 ≥97–99% T.D. 提升薄膜一致性与附着力
尺寸 Ø25–Ø300 mm 支持科研至量产设备
厚度 3–6 mm 可按寿命需求调整
背板 Cu / Ti / Mo / In 增强散热与结构稳定性

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 特点 应用
NiMo 耐腐蚀强、硬度高、热稳定 电极层、阻挡层、耐蚀膜
NiCr 稳定电阻、高耐热 电阻膜、电热膜
NiTi 具有形状记忆性 功能薄膜器件
Mo 高熔点、耐腐蚀 隔离层、电极薄膜

常见问题(FAQ)

问题 答案
NiMo 靶材适用于哪些溅射方式? RF、DC、脉冲溅射均可。
Ni:Mo 配比是否可定制? 可以按客户要求调整成分比例。
NiMo 薄膜耐腐蚀性如何? 极强,尤其适用于酸性与湿热环境薄膜。
是否提供背板? 可选 Cu/Ti/Mo 背板及铟焊工艺。
可否用于连续高温溅射? 可以,材料具备优异热稳定性。
是否提供 COA? 每批靶材均附密度、成分与外观检测报告。

包装与交付(Packaging)

  • 真空密封包装

  • 内部泡棉防震保护

  • 外层出口级木箱

  • 附唯一批号与检测报告(COA)


结论(Conclusion)

镍钼靶材(NiMo)凭借其优异的耐蚀性、稳定电学性能及高温可靠性,是电极薄膜、阻挡层和保护膜制备中的重要靶材。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度、可定制配比的 NiMo 靶材,为科研和工业应用提供可靠材料解决方案。

如需报价,请联系:
📧 sales@keyuematerials.com