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氧化锶铁（SrFeO）是一类典型的铁基过渡金属复合氧化物靶材，具有可调节的电学性能、磁学特性以及良好的化学稳定性。Sr–Fe–O 体系广泛应用于电阻式薄膜、磁性薄膜、光电材料、催化材料及多层结构薄膜的研究中，特别是在铁氧体（ferrite）及钙钛矿结构相关研究中具有重要作用。
SrFeO 在溅射沉积过程中易形成均匀、致密的复杂氧化物薄膜，广泛用于科研院校、材料实验室及新型电子材料开发领域。
苏州科跃材料科技有限公司采用严格的粉体配比控制、CIP 等静压成型与高温固相烧结工艺，保证 SrFeO 靶材的高致密度、稳定性和优良的溅射性能。
典型规格参数：
纯度： 99.9%（3N）
尺寸： Φ25–300 mm，可定制矩形靶
厚度： 3–6 mm
密度： ≥ 90–95% TD
制造工艺： CIP + 高温烧结
可选工艺： HIP 热等静压
外观： 深灰/黑灰陶瓷质感
背板选择： Cu / Ti / Mo + Indium bonding（提升散热性能与抗裂性）
高化学计量一致性：确保薄膜组分稳定
高致密度结构：减少溅射过程掉块、边缘崩裂等风险
良好磁性/电学特性：适合磁学与电学薄膜研究
适用于 RF 与 DC 溅射：工艺兼容性强
平整光滑表面：有助于制备高质量薄膜
SrFeO 溅射靶材广泛应用于以下领域：
铁氧体薄膜（ferrite films）
磁性材料与自旋电子学研究（spintronics）
电阻式传感器薄膜（气敏、温敏）
光电功能材料
多层复合结构薄膜（superlattices）
催化薄膜（如氧化还原催化）
钙钛矿结构功能膜研究
Fe 基氧化物的电子与磁结构可通过氧分压、退火条件、薄膜厚度等方式调控，使 SrFeO 成为可调功能性薄膜的热门材料。
| 参数 | 典型值 / 范围 | 备注 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9% 3N | 提高薄膜纯度与稳定性 |
| 尺寸 | Φ25–300 mm | 兼容各种靶室尺寸 |
| 厚度 | 3–6 mm | 影响溅射寿命与膜层速率 |
| 密度 | ≥ 90–95% TD | 高致密度提升成膜均匀性 |
| 制备工艺 | CIP / 烧结 / HIP | 决定靶材结构强度与耐久性 |
| 背板 | Cu/Ti/Mo + 铟焊 | 提升散热能力与机械稳定性 |
| 适用设备 | DC / RF 溅射 | 适配科研与产业设备 |
| 材料 | 特性 | 应用方向 |
|---|---|---|
| SrFeO | 磁性、电阻可调、稳定性高 | 磁性薄膜、催化薄膜 |
| Fe₂O₃ / Fe₃O₄ | 典型铁氧体材料 | 磁记录、催化、传感 |
| SrTiO₃ | 经典钙钛矿结构 | 外延衬底、光电材料 |
| SrCoO | 催化活性强 | 电催化、氧还原反应 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| SrFeO 更适合 RF 还是 DC？ | 两者都可使用，但 RF 成膜更均匀稳定。 |
| 是否具有磁性？ | 是，根据成膜条件可表现出铁磁、亚铁磁或反铁磁特性。 |
| 成膜是否容易偏离化学比例？ | 通过控制氧分压可有效保持 stoichiometry。 |
| 是否适合用于多层结构？ | 是，可用于铁氧体/钙钛矿等异质结构研究。 |
| 需要使用背板吗？ | 大尺寸靶材强烈建议使用背板以提升散热与抗裂能力。 |
| 是否可与其他材料共溅射？ | 可与 SrTiO₃、Fe₂O₃、LaFeO₃ 等组合研究复合膜。 |
| 如何储存靶材？ | 干燥、避光、避免剧烈碰撞即可。 |
所有 SrFeO 靶材均采用：
真空封装
防静电袋
防震泡沫
双层外箱/木箱运输
并附唯一产品编号，确保全程可追踪。
氧化锶铁（SrFeO）溅射靶材是一种兼具磁性、电学和催化性能的多功能复合氧化物材料，被广泛用于磁学、传感器、光电及催化等研究方向。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度并支持各种定制尺寸的 SrFeO 靶材，是科研与新材料开发的理想选择。
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属（3N~6N）、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案，服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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