氧化锰铁靶材（MnFeO）

产品简介（Introduction）

氧化锰铁（MnFeO）是一类重要的过渡金属复合氧化物靶材，结合了锰（Mn）和铁（Fe）在氧化物体系中的电学、磁学与催化特性。Mn–Fe–O 体系常表现出电阻可调性、磁性响应、优异的电催化活性以及可控的氧化还原行为，因此 MnFeO 靶材广泛应用于磁性薄膜、催化薄膜、气敏/温敏传感器、电极薄膜以及先进氧化物电子材料研究。

MnFeO 在溅射沉积中能够形成均匀、致密且结构稳定的薄膜，适合科研实验室、新材料开发机构及功能性薄膜研究使用。

产品详情（Detailed Description）

苏州科跃材料科技有限公司采用精细粉体处理、CIP 等静压成型和高温烧结工艺，确保 MnFeO 靶材具有高致密度、均匀结构及长期溅射的稳定性能。

典型规格参数：

• 纯度： 99.9%（3N）

• 尺寸： Φ25–300 mm；可定制矩形靶

• 厚度： 3–6 mm

• 密度： ≥ 90–95% 理论密度

• 制造工艺： CIP 等静压 + 高温固相烧结

• 可选工艺： HIP 热等静压（进一步增密）

• 外观： 深灰至黑灰陶瓷质感

• 背板选项： Cu / Ti / Mo 背板 + Indium Bonding（增强散热与抗裂能力）

工艺性能优势

• 成分均匀性高 —— 确保溅射膜层的化学比稳定

• 高致密度材料结构 —— 减少孔隙，提高成膜一致性

• 磁学与电学特性可调控 —— 适用于多类功能膜

• 耐热性强、不易崩边 —— 适合高功率 RF/DC 溅射

• 表面平整光滑 —— 获得更均匀的薄膜厚度与更少缺陷

应用领域（Applications）

MnFeO 溅射靶材广泛用于多种功能薄膜研究，包括：

• 铁氧体薄膜（Ferrite Films）

• 磁性材料与自旋电子学（Spintronics）

• 气敏、温敏传感器薄膜

• 催化膜（如氧化还原、OER/ORR 研究）

• 电极薄膜与电化学功能层

• 抗腐蚀或功能表面涂层

• 能量材料研究（如储能机制探索）

• 多层复合结构薄膜（Multilayers/Superlattices）

通过调节氧分压、溅射功率及热处理条件，Mn–Fe–O 体系的电学、磁学与催化性能可被广泛调控，是当前材料研究的重要体系之一。

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

包装与交付（Packaging）

所有 MnFeO 靶材都会经过严格检验，并采用以下方式包装：

• 真空密封袋

• 防静电袋

• 防震泡沫包裹

• 出口级纸箱或木箱
  并附唯一批次编号，确保全程可追踪与运输安全。

结论（Conclusion）

氧化锰铁（MnFeO）是一种兼具磁性、电学及催化性能的多功能过渡金属氧化物靶材，在磁性材料、传感器、电极薄膜和功能涂层等领域具有广泛应用。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度并支持各种规格定制的 MnFeO 溅射靶材，是科研机构与材料研发团队的可靠合作伙伴。

如需报价或进一步技术资料，请联系：
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