砷化锡靶材(SnAs)

砷化锡靶材(SnAs)

产品简介(Introduction)

砷化锡(SnAs)是一种 IV–V 族化合物,由锡(Sn)与砷(As)构成,具有独特的半金属/半导体特性、稳定的晶体结构和良好的电学性能。近年来,SnAs 在红外探测、新型半导体薄膜、热电材料以及量子材料研究领域受到广泛关注,成为先进功能薄膜中的重要候选材料。

砷化锡靶材(SnAs Sputtering Target)可通过磁控溅射沉积致密、均匀的 SnAs 薄膜,常用于光电器件、红外敏感器件、电子结构调控、热电薄膜以及多层功能结构研究。


产品详情(Detailed Description)

SnAs 靶材通常采用以下工艺制备:

  • 高纯 Sn + 高纯 As 的密闭合成(Direct Synthesis in Sealed Ampoule)

  • 固相反应烧结(Solid-State Reaction)

  • 真空热压烧结(Vacuum Hot Pressing,HP)

  • CIP + 高温致密化(Cold Isostatic Pressing)

典型产品参数:

  • 纯度:99.9%(3N)– 99.999%(5N)

  • 化学计量比:Sn:As = 1:1(可定制偏 Sn 或偏 As 配比)

  • 颜色:灰黑色/深灰色陶瓷状外观

  • 致密度:≥95%–98% TD

  • 晶体结构:可能呈现金属化或半导体行为(随化学计量改变)

  • 尺寸:直径 25–300 mm 或矩形靶可定制

  • 厚度:3–6 mm

  • 背板结合(可选):Cu / Ti / Mo / Indium bonding

材料优势:

  • 高稳定性、低氧含量

  • 薄膜成分均匀、颗粒少

  • 支持高功率 RF / Pulsed DC 溅射

  • 兼容中真空与超高真空系统

  • 可形成良好平整度的薄膜界面


应用领域(Applications)

● 红外光电探测(Infrared Photodetectors)

SnAs 的可调带隙、良好的红外吸收效率和电子行为使其适合:

  • SWIR/MWIR 探测器

  • 红外成像系统

  • 光敏薄膜结构

  • 中红外调控器件

可作为传统砷化物(如 GaAs、InAs)的补充材料。

● 热电薄膜(Thermoelectric Thin Films)

SnAs 属于 Sn–As 系热电材料体系,可用于:

  • 微型热电发电器

  • 温差能量采集装置

  • 低维热电结构研究

此类薄膜可进一步用于柔性或集成能源器件。

● 新型半导体与功能薄膜(Semiconducting Functional Films)

SnAs 可用作:

  • 异质结界面层

  • 载流子调控层

  • 光学吸收层

  • 多层结构中的中间层

可与 GaSb、InAs、GeAs 等材料形成能带梯度结构。

● 量子材料探索(Quantum Materials)

SnAs 因其可能表现出拓扑相、半金属特性等,被广泛用于:

  • 拓扑材料研究

  • 低维量子薄膜

  • 强关联电子体系实验

  • 量子器件原型验证

● 材料科学研究(R&D Applications)

适合:

  • Sn–As 化合物体系探索

  • 相稳定性与晶体结构调控

  • 薄膜电子/光学特性研究

  • 高性能溅射薄膜工程


技术参数(Technical Parameters)

参数 范围 / 典型值 说明
纯度 3N–5N 高纯度提升薄膜性能
化学成分 SnAs(可调偏 As / 偏 Sn) 支持科研配比定制
致密度 ≥95–98% TD 降低溅射颗粒
尺寸 25–300 mm 圆靶 / 矩形靶 适配主流腔体
厚度 3–6 mm 影响靶寿命与沉积速率
背板结合 Cu / Ti / Mo / In 增强机械稳定性与散热
溅射方式 RF、Pulsed DC 陶瓷化靶材推荐 RF
制造工艺 HP / CIP / Solid-State 决定微结构一致性

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 特点 应用
SnAs 半金属/半导体行为 红外、热电、量子材料
GaAs 直接带隙 光通信、光电器件
InAs 高迁移率、窄带隙 SWIR/MWIR 探测
GeAs 可调电子结构 功能薄膜与界面工程

常见问题(FAQ)

问题 答案
SnAs 靶材适用于哪些溅射方式? RF、Pulsed DC,DC 可搭配中间层。
可否定制化学计量? 可以,Sn-rich / As-rich 均可制作。
SnAs 薄膜是否具备红外响应? 具备较强红外吸收能力。
是否支持大尺寸靶材? 可提供 8–12 英寸靶材。
SnAs 靶材是否易吸湿? 相比单质砷更稳定,但建议真空密封保存。
可否制作 PLD 靶材? 支持 PLD/MBE 定制版本。
薄膜颗粒率如何? 高致密度靶材颗粒率极低,适用于洁净室工艺。

包装与交付(Packaging)

  • 真空密封防氧化

  • 防静电袋洁净包装

  • 多层防震结构

  • 出口级木箱运输

  • 提供检测报告(纯度/密度/成分/XRD)

确保材料在运输与储存过程中的稳定性与洁净度。


结论(Conclusion)

砷化锡靶材(SnAs)凭借其独特的半金属性能、稳定的结构与优良光电特性,是红外探测、热电薄膜、新型半导体与量子材料研究中的关键功能薄膜材料。采用高致密、高纯度的 SnAs 靶材,可显著提升薄膜质量,是科研机构与先进器件开发的重要选择。

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📩 sales@keyuematerials.com