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锑化锡(SnSb)是一种由锡(Sn)与锑(Sb)构成的二元化合物材料,属于典型的 IV–V 族半导体/半金属体系。SnSb 具有良好的热电性能、稳定的电子结构、较高的化学稳定性以及可调的电学特性,是中温热电器件、新型薄膜电子器件、界面工程和材料科学研究中重要的功能材料。
锑化锡靶材(SnSb Sputtering Target)用于磁控溅射沉积 SnSb 功能薄膜,可获得高致密、低缺陷、成分均匀的薄膜结构,符合科研与工业薄膜制备需求。
SnSb 靶材常采用以下工艺制备:
Sn 与 Sb 高纯元素密闭合成(Sealed Ampoule Synthesis)
固相反应烧结(Solid-State Reaction)
真空热压烧结(Vacuum Hot Pressing, HP)
CIP 等静压成型 + 高温致密化(CIP + High-Temperature Densification)
典型参数:
纯度:99.9%–99.999%(3N–5N)
化学计量比:Sn:Sb = 1:1(可定制 Sn-rich / Sb-rich)
颜色:深灰–黑灰色
晶体结构:层状晶体结构(随化学计量有所变化)
致密度:≥95–98% TD
尺寸:直径 25–300 mm(可制矩形靶)
厚度:3–6 mm,可定制
背板结合(可选):Cu、Ti、Mo、Indium bonding
材料优势:
粒径均匀、薄膜颗粒率低
高纯度适合高端热电与薄膜器件
化学稳定性强,不易分解
适合 RF / Pulsed DC 溅射
适用于 HV / UHV 系统
SnSb 属于典型的中温热电材料体系,可用于:
微型热电发电薄膜
温差能量采集(Energy Harvesting)
热电制冷器件
多层热电结构集成(如 SnTe/SnSb 系统)
适合 200–450°C 的中温工作区间。
SnSb 可用于:
可调电阻薄膜
功能层/中间层
复合异质结构的界面工程
电学与热学调控薄膜
其电子结构可通过组成比例调整。
SnSb 的窄带隙特性使其适用于:
IR 吸收薄膜
光-热转换层
红外传感器前置薄膜
SnSb 常用于:
Sn-Sb 系材料的相稳定性研究
热电性能优化(ZT 值)
掺杂与缺陷调控
Sn-rich / Sb-rich 体系对比研究
| 参数 | 范围 / 典型值 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%–99.999% | 高纯可减少薄膜缺陷 |
| 成分 | SnSb(可偏 Sn / Sb) | 支持科研配比定制 |
| 致密度 | ≥95–98% TD | 有助提升沉积稳定性 |
| 尺寸 | 25–300 mm | 通用溅射尺寸兼容性强 |
| 厚度 | 3–6 mm | 决定靶材寿命与溅射速率 |
| 背板结合 | Cu / Ti / Mo / In | 提升散热、防止热裂 |
| 溅射方式 | RF / Pulsed DC | 化合物靶材推荐 RF |
| 制造工艺 | HP / CIP / Vacuum Sintering | 提供高微结构一致性 |
| 材料 | 特点 | 应用方向 |
|---|---|---|
| SnSb | 中温热电、电子结构可调 | 热电、功能薄膜 |
| SnSe | 极低热导率 | 热电研究热点 |
| Bi₂Te₃ | 室温热电性能优 | 发电/制冷薄膜 |
| ZnSb | 中温热电材料 | 能量采集 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| SnSb 靶材适用于哪些溅射方式? | RF、Pulsed DC。 |
| 是否可提供不同化学计量? | 可定制 Sn-rich 或 Sb-rich。 |
| SnSb 可用于热电研究吗? | 是,中温热电核心材料之一。 |
| 是否支持大尺寸? | 最大可提供至 12 英寸。 |
| 是否可用于 PLD? | 可提供 PLD/MBE 用靶材。 |
| SnSb 靶材是否易氧化? | 稳定性比纯 Sn 或 Sb 好,但仍建议真空封装保存。 |
铝塑真空密封
防静电袋包装
防震泡沫多层保护
出口级木箱运输
附 ICP / XRD / 密度 / 尺寸检测报告
保证靶材在运输与储存过程中的洁净与稳定性。
锑化锡靶材(SnSb)凭借其优异的热电性质、可调的电子结构、高纯度和良好的薄膜成膜能力,是热电薄膜、功能电子器件和材料科学研究中的重要材料。使用高致密 SnSb 靶材可显著提升薄膜均匀性与器件性能,是科研与产业应用的理想选择。
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