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氟化钕(NdF)是一种重要的稀土氟化物材料,具有良好的光学透明性、化学稳定性和特定的折射特性。作为磁控溅射靶材,NdF 能沉积出高纯度、低缺陷、光学性能稳定的薄膜,广泛用于光学镀膜、红外窗口、防反射结构、电介质薄膜、激光系统与科研用途。
氟化钕薄膜的核心优势包括:
优异的紫外—红外透过率
低折射率、表面质量稳定
高激光损伤阈值,适合光学系统
良好的热稳定性及化学惰性
在高端光学器件和电子器件中,NdF 是必不可少的薄膜材料之一。
氟化钕靶材通常采用 CIP 等静压成形 + 真空/惰性气氛烧结 工艺制备,以确保结构致密、纯度高、无裂纹,并保持良好的溅射性能。
可提供以下标准配置:
纯度:99.9%(3N)– 99.99%(4N)
尺寸:直径 25–300 mm(常规 2″、3″、4″ 常备)
厚度:3–6 mm,可定制更厚/更薄
密度:95–99% 理论密度(TD)
形貌:高致密陶瓷体,无孔洞、无裂纹
形状:圆靶、方靶、阶梯靶、复合靶
背板可选:Cu / Ti / Indium 焊接
化学计量稳定:膜层成分均匀,折射率一致性高
颗粒率低:减少光学膜层中的散射点
力学结构稳固:不易开裂、脱落
溅射速率可控:适合批量稳定生产
氟化钕靶材广泛用于光学、电介质与高端薄膜工程中,包括:
低折射率薄膜
多层干涉膜结构
AR 防反射膜
光学显示膜层
紫外/可见/红外窗口层
激光器腔镜镀膜
高功率激光反射/透射结构
稳定化光学界面层
多层电介质结构
电学绝缘保护膜
微电子封装
稀土光学材料实验
掺杂光学薄膜研究
量子光学器件镀膜
光学组件寿命提升研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9–99.99% | 决定光学透过率与缺陷密度 |
| 密度 | 95–99% TD | 密度越高,颗粒越少,成膜更均匀 |
| 尺寸 | 25–300 mm | 可适配任何主流溅射腔体 |
| 厚度 | 3–6 mm | 决定溅射时间与结构稳定性 |
| 背板 | Cu / Ti / In 焊 | 提升散热与机械支撑 |
| 工艺 | CIP + 真空烧结 | 稳定微结构,提高稳定性 |
| 材料 | 优势 | 应用 |
|---|---|---|
| NdF | 稳定介电性、红外透过佳 | 光学镀膜、介质薄膜 |
| NdF₃ | 更高稳定性与更宽透光窗口 | 激光镀膜、IR 光学 |
| LaF₃ | 更低折射率 | 高端抗反射膜 |
| YF₃ | 热稳定性强 | 红外窗口材料 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| NdF 靶材适合哪种溅射? | RF / DC 磁控溅射均可使用。 |
| NdF 薄膜易分解吗? | 高致密靶材不易分解,适合中等功率溅射。 |
| 可用于高功率激光镀膜? | 可以,PrF / NdF / LaF₃ 常用于激光系统。 |
| 膜层折射率稳定吗? | NdF 薄膜具有稳定的低折射率特性。 |
| 能否定制背板? | 可提供 Cu、Ti、In 焊等多种背板体系。 |
| 是否容易产生颗粒? | 高致密化处理能显著降低颗粒。 |
| 是否适合多层复合薄膜? | 非常适合用于多层干涉膜结构。 |
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氟化钕靶材(NdF)具有优异的光学透明性、低折射率、化学稳定性及良好的介电性能,是光学镀膜、激光系统、薄膜电子与科研领域的重要功能材料。经过高致密烧结工艺的 NdF 靶材可提供稳定、均匀、低缺陷薄膜,是高端光电器件制造的可靠选择。
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