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钇铁靶材(YFe)由稀土元素钇(Y)与铁(Fe)组成,是一种兼具磁性调控能力、优异热稳定性及良好结构一致性的功能性溅射靶材。
Y–Fe 系材料具有轻稀土元素的独特磁响应、良好的薄膜均匀性,并在磁光器件、传感器、自旋电子学(Spintronics)和磁性薄膜研究中展现出重要作用。
YFe 薄膜具有较低密度、可调磁性、良好附着力以及优异的界面兼容性,是科研领域常用于开发新型磁性结构的重要材料。
钇铁靶材采用高纯 Y 与 Fe 原料,经真空熔炼、粉末冶金、CIP/HIP 热等静压、高温固相反应等工艺制备,确保材料高致密度、低残余应力和高度一致的成分分布。
可提供以下规格:
纯度:99.9% – 99.99%
成分比例:YₓFe₁₋ₓ(支持 Y20Fe80、Y40Fe60、Y50Fe50 等定制)
直径:Φ25–Φ300 mm
厚度:3–6 mm
致密度:≥97%
背板选择:Cu 背板、Ti 背板、铟焊(In bonding)
材料性质与优势:
可调磁性(随成分比例变化显著)
膜层磁晶取向稳定
稀土元素使薄膜具有独特磁光效应
成膜均匀,颗粒生成率低
稳定的溅射速率与良好的膜附着力
与玻璃、Si、Sapphire 等基底兼容性高
钇铁靶材广泛应用于磁性与光电器件研究,包括:
磁光薄膜(Magneto-optical Films)
磁性存储器(MRAM)功能层
GMR/TMR 器件复合薄膜
磁性传感器与霍尔效应元件
自旋电子学(Spintronics)结构层
磁性调控薄膜(Soft/Hard Magnetic Layers)
稀土磁性材料研究与实验
磁光器件(如光隔离器、磁光调制器)
YFe 在低温磁性特性、高精度磁光薄膜与新型磁学结构工程中具有明显优势。
| 参数 | 典型值 / 范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 成分比 | Y/Fe 可定制 | 决定磁性、光学响应与薄膜结构 |
| 纯度 | 99.9%–99.99% | 高纯度减少杂质与薄膜缺陷 |
| 致密度 | ≥97% | 致密度高,有助于均匀沉积 |
| 直径 | 25–300 mm | 兼容各类溅射设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 影响溅射寿命与沉积速率 |
| 背板 | Cu / Ti / In | 提升散热、应力释放与稳定性 |
| 材料 | 特点 | 应用领域 |
|---|---|---|
| YFe | 稀土磁性平衡良好、磁光特性突出 | 磁光薄膜、Spintronics |
| DyFe | 高矫顽力、磁稳定性强 | 磁存储、传感器 |
| TbFe | 磁光效应更强 | 光存储器件 |
| YCo | 更高磁各向异性 | 高磁性功能层 |
1. YFe 靶材适合哪些溅射方式?
RF、DC、磁控溅射均可使用。
2. 成分比例可以调整吗?
可以,根据磁性与光学需求定制 Y/Fe 比例。
3. 膜层磁性稳定性如何?
YFe 膜层磁性可控,且随热处理表现稳定。
4. 适用于磁光应用吗?
适用,稀土元素 Y 的加入提升磁光响应特性。
5. 薄膜颗粒率低吗?
采用高致密度靶材可显著抑制颗粒生成。
6. 是否兼容 Si、Sapphire、玻璃基底?
兼容性良好,附着力强。
7. 是否可提供检测报告?
出厂附 ICP 成分分析、密度、尺寸等检测文件。
真空密封防氧化
防震泡棉保护
出口级纸箱或木箱
独立追溯编号体系
确保靶材在运输与储存中的洁净与稳定。
钇铁靶材(YFe)凭借稀土元素带来的磁性调控能力与薄膜稳定性,在磁光器件、自旋电子学、磁性传感器和新型磁学材料研究中占据重要位置。
苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度、高致密度、多规格的 YFe 靶材,满足科研与工业客户的全场景需求。
如需获取更多技术参数或报价,请联系:
sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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