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钴铂靶材(CoPt)由钴(Co)与铂(Pt)构成,是一种具有高磁晶各向异性、高矫顽力、优良热稳定性和强抗腐蚀能力的高性能磁性功能靶材。
CoPt 合金在磁记录技术、自旋电子学、磁性隧道结(MTJ)、高密度存储、永磁薄膜及微纳磁性器件中具有重要应用价值,是当前高端磁性薄膜材料体系中不可替代的关键材料。
凭借铂的贵金属化学稳定性和钴的高磁性,CoPt 薄膜展现出高磁能积、强垂直磁各向异性(PMA)和优良的热稳定性,是先进磁性结构的核心材料之一。
钴铂靶材采用高纯 Co 与 Pt,通过真空熔炼、粉末冶金(PM)、冷等静压(CIP)、热等静压(HIP)、高温固相合金化等工艺制备,实现:
高致密度(≥97%)
成分均匀一致
膜层颗粒极低
高强度与良好的导热性
可提供技术规格:
纯度:99.9% – 99.99%
成分比:Co₅₀Pt₅₀、Co₄₀Pt₆₀、Co₆₀Pt₄₀(支持定制)
直径:Φ25–Φ300 mm
厚度:3–6 mm(为您已生成薄版图片)
背板键合:Cu 背板、Ti 背板、In 焊
致密度:≥97%
材料优势:
高磁晶各向异性,适用于 PMA 薄膜
高矫顽力与磁稳定性
稳定的溅射性能,颗粒少,膜层均匀
优异的抗腐蚀性(来自 Pt 的贵金属性)
与多层磁性结构(如 CoFeB/MgO)兼容性极佳
垂直磁各向异性薄膜(PMA)
自旋阀(Spin Valve)结构
交换耦合结构
高灵敏磁传感器
高密度磁记录介质
MRAM(STT-MRAM / SOT-MRAM)结构层
磁性隧道结(MTJ)
电流辅助磁切换器件(CIMS)
耐腐蚀磁性层
永磁薄膜(微型电机、微纳器件)
多层磁性叠层中的固定层 / 调节层
磁晶控制研究
高温磁性稳定性研究
赝二元金属体系探索
| 参数 | 典型值 / 范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 成分比 | Co/Pt 可定制 | 决定磁晶结构与 PMA 强度 |
| 纯度 | 99.9%–99.99% | 影响薄膜缺陷与磁性一致性 |
| 致密度 | ≥97% | 决定薄膜均匀性和溅射稳定性 |
| 直径 | 25–300 mm | 满足各类溅射系统 |
| 厚度 | 3–6 mm | 与设备功率及寿命相关 |
| 背板 | Cu/Ti/In | 提升散热、降低热应力 |
| 材料 | 特点 | 应用 |
|---|---|---|
| CoPt | 高磁晶各向异性,高矫顽力 | PMA、MRAM、MTJ |
| CoPd | 磁性较弱,但导电性更好 | 磁性调控层 |
| FePt | 更高磁各向异性(成本更高) | 高密度磁记录 |
| CoFe | 高饱和磁化,成本更低 | 自旋电子器件 |
1. CoPt 是否具有垂直磁各向异性(PMA)?
是,特别是 Co₅₀Pt₅₀ 等成分具有优异 PMA,是 MTJ 和 MRAM 的核心材料。
2. CoPt 与 FePt 相比如何?
CoPt 成本更低,磁性稍弱,但稳定性与工艺兼容性更好。
3. 是否支持定制成分?
可以,根据磁性参数(矫顽力、饱和磁化、PMA 强度)定制。
4. 是否适用于 RF 和 DC 溅射?
适用于 RF / DC / 磁控溅射工艺。
5. CoPt 耐腐蚀吗?
由于含 Pt(贵金属),耐腐蚀性非常强。
6. 是否可提供大尺寸靶材?
支持 4″、6″、8″、12″ 等多规格。
7. 是否附带检测报告?
可提供 ICP、纯度、密度、表面检测等报告。
真空密封防氧化
防震泡棉保护
出口级木箱 / 强化纸箱
独立批次编号可追溯
确保靶材在运输与储存中保持洁净与稳定。
钴铂靶材(CoPt)凭借高磁晶各向异性、优良磁性与卓越的热稳定性,是 MRAM、磁隧道结、PMA 薄膜和高性能磁性结构的关键材料。
苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密度、多规格定制的 CoPt 靶材,满足科研和工业客户的高性能需求。
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