钴铬铁镍铝靶材（CoCrFeNiAl）

产品简介（Introduction）

钴铬铁镍铝靶材（CoCrFeNiAl）属于典型的高熵合金（HEA）体系，由 Co、Cr、Fe、Ni 与 Al 多元金属组成，具有高熵效应、严重晶格畸变、缓慢扩散以及良好的力学与化学稳定性。该材料以其高硬度、优异的耐腐蚀性、耐磨性与高温稳定性，在先进薄膜工程、表面强化涂层、微电子结构层、能源材料研究中具有广泛应用。

作为 HEA 系列的重要分支，CoCrFeNiAl 具有面心立方（FCC）与体心立方（BCC）双相结构的潜力，可通过调节 Al 含量精准控制薄膜的物理性能，是科研材料开发中的重点研究对象。

产品详情（Detailed Description）

CoCrFeNiAl 靶材由高纯金属经真空熔炼、粉末冶金（PM）、冷等静压（CIP）、热等静压（HIP）、固相合金化与精密车磨等工艺制备，确保材料具有：

• 高致密度（≥97%）

• 均匀的多元合金结构

• 稳定的溅射性能

• 极低颗粒率

• 高强度、耐腐蚀与耐磨特性

可提供规格：

• 纯度：99.9%–99.99%

• 成分比例：CoCrFeNiAl（Al 含量可定制，如 Al₀.₁、Al₀.₂、Al₀.₃）

• 尺寸：Φ25–Φ300 mm 或矩形靶

• 厚度：3–6 mm（支持更薄）

• 背板结合：Cu 背板、Ti 背板、In 焊接

材料优势：

• 高熵固溶体结构，成膜一致性佳

• Al 的加入提供更高硬度和抗腐蚀能力

• 低应力薄膜形成能力强

• 稳定耐磨，适用于机械与电子表面的保护涂层

• 多相结构可调控电学与力学特性

应用领域（Applications）

高熵合金薄膜研究

• 材料科学与结构调控实验

• 多元体系的相稳定性研究

• HEA 薄膜的机械、电学、化学特性探索

微电子与金属互连结构

• 耐腐蚀导电薄膜

• 阻挡层与保护涂层

• 接触层、电极强化层

耐磨 / 耐腐蚀功能涂层

• 机械零部件表面保护

• 微型机械系统（MEMS）涂层

• 高温耐腐蚀结构薄膜

能源材料

• 高温反应环境涂层

• 氧化物稳定层

• 先进能源设备的镀膜层

CoCrFeNiAl 特别适用于要求“高硬度 + 耐磨 + 耐腐蚀 + 成分均匀”的多用途薄膜工程。

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

1. CoCrFeNiAl 是高熵合金吗？
是的，属于典型 HEA（High Entropy Alloy）体系。

2. Al 含量会影响薄膜相结构吗？
会，Al 增加可使薄膜从 FCC 向 BCC 或双相结构变化。

3. 是否可以定制不同成分比？
完全可以，可按 Al 含量或五元比例要求生产。

4. 是否适用于 RF/DC 溅射？
适用于 RF、DC 和磁控溅射。

5. 是否能做大尺寸靶材？
支持 4″、6″、8″、12″ 及矩形靶。

6. 是否易产生颗粒？
采用高致密度靶材可显著降低颗粒率。

7. 是否提供检测报告？
提供 ICP、密度、成分均匀性等检测数据。

包装与交付（Packaging）

• 真空封装与密封防氧化

• 防震泡棉缓冲

• 出口级抗压纸箱或木箱

• 单件编码可追溯

确保运输储存过程安全、洁净。

结论（Conclusion）

钴铬铁镍铝靶材（CoCrFeNiAl）凭借高熵多元结构带来的优异机械性能、耐腐蚀性和成膜稳定性，在表面工程、微电子、能源材料以及前沿 HEA 薄膜研究中具有重要价值。
苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密度、成分可定制的 CoCrFeNiAl 靶材，实现科研与工业用户的高性能薄膜需求。

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