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硫化锗磷(GePS)是一类由锗(Ge)、磷(P)与硫(S)组成的多组元硫化物材料,结合了 Ge–S 体系的成膜性与 P–S 体系的离子迁移特性,同时兼具轻元素结构、可调带隙、优良的电化学稳定性与成膜均匀性。GePS 在 固态电解质、电极界面工程、光学薄膜、电化学能源材料 等领域具有较高研究价值。
硫化锗磷靶材(GePS Sputtering Target)适用于磁控溅射沉积 GePS 功能薄膜,可获得均匀、致密、化学计量稳定的薄膜层,特别适用于固态电池与新型储能体系的界面研究。
GePS 靶材通常采用以下工艺制备:
Ge、P、S 高纯原料密闭固相合成(Sealed Ampoule Reaction)
固相反应烧结(Solid-State Reaction)
均匀熔融–淬火玻璃化(Melt-Quench)
CIP 冷等静压成型 + 高温致密化(HP / Sintering)
典型规格:
纯度:99.9% – 99.99%(3N–4N)
化学计量比:Ge:P:S = 1:x:y(可按项目需求定制)
外观:黑灰至深灰色硫化物陶瓷外观
致密度:≥94–97% TD
尺寸:Ø25–Ø300 mm,可定制矩形靶材
厚度:3–6 mm
背板(可选):Cu / Ti / Mo / In bonding
材料优势:
成分均匀,适用于精确薄膜成分控制
可形成非晶或微晶结构薄膜
与固态电解质体系兼容性高
低颗粒溅射,薄膜表面平滑
适合低温与中温沉积工艺
GePS 属于多组元 P–S–Ge 硫化体系,可用于:
固态电池界面调控层
离子导电薄膜
P–S–Ge 复合电解质研究
降低界面阻抗的过渡层(Buffer Layer)
与 Li₂S、P₂S₅、GeS₂ 类材料可形成兼容界面。
由于其化学稳定性与成膜均匀性,GePS 可应用于:
电极保护层
固态电池阴极包覆
电极–电解质界面稳定结构
电化学应力缓冲层
有效抑制副反应与界面分解。
GePS 可作为轻元素硫化物材料,用于:
光吸收薄膜
红外响应结构
光敏层
功能光学界面涂层
具有可调带隙、适合设计复合光电结构的优势。
GePS 常用于研究:
非晶硫化物结构与网络形成机制
硫化物玻璃薄膜
多相复合材料
离子/电子混合导体结构设计
| 参数 | 范围 / 典型值 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 3N–4N | 高纯度降低薄膜杂质含量 |
| 成分 | GePS(可调比) | 支持 Ge-rich / P-rich / S-rich |
| 致密度 | ≥94–97% TD | 非晶硫化物适用密度范围 |
| 尺寸 | Ø25–Ø300 mm | 兼容科研和量产设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 可按沉积寿命定制 |
| 背板 | Cu / Ti / Mo / In | 防止脆性材料开裂 |
| 溅射方式 | RF 推荐 | 非金属硫化物最佳方式 |
| 工艺 | Solid-State / HP / CIP | 结构均匀可靠 |
| 材料 | 特点 | 应用 |
|---|---|---|
| GePS | 轻元素、多功能硫化物 | 固态电池、光电薄膜 |
| P₂S₅ | 高离子导电性 | 固态电解质 |
| GeS₂ | 玻璃形成能力强 | 光电、硫化物薄膜 |
| Li₂S–P₂S₅ 系 | 成熟电解质体系 | 全固态电池 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| GePS 靶材适合哪种溅射方式? | RF 溅射最佳,薄膜成分控制更稳定。 |
| 是否可定制不同化学计量? | 可以,支持多组元配比方案。 |
| 可否用于固态电解质研究? | 是,多项文献使用 Ge–P–S 体系作为 SSE 研究材料。 |
| 薄膜会呈非晶结构吗? | 多数情况下呈非晶,但可通过退火调控。 |
| 是否能提供大尺寸靶材? | 最大可达 12 英寸。 |
| 是否易吸湿? | 是,应真空密封保存并避免空气暴露。 |
铝塑真空密封防氧化
防静电袋双层包装
泡棉与加固外箱多层防震
随货附 ICP、XRD、密度与外观检测报告
硫化锗磷靶材(GePS)凭借其良好的成膜性、可调电化学稳定性以及对固态电池体系的兼容性,是固态电解质、光电薄膜、界面工程与功能材料研发中的重要材料。高致密、高纯度 GePS 靶材可显著提升薄膜均匀性,是科研与产业应用的理想选择。
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