铁铝硅靶材（FeAlSi）

产品简介（Introduction）

铁铝硅靶材（FeAlSi）由铁（Fe）、铝（Al）和硅（Si）三种元素组成，是一种兼具耐腐蚀性、轻量化、高温稳定性与可调电学性能的多元合金溅射靶材。Fe 提供机械强度与磁性基础，Al 改善耐腐蚀性与结构轻量化，Si 则进一步强化薄膜的耐高温性与电学性能，使 FeAlSi 在电子、电磁屏蔽、耐腐蚀涂层、光学结构膜以及汽车电子等领域应用广泛。

FeAlSi 薄膜具有较好的成膜均匀性、附着力、耐氧化性以及机械稳定性，是工业与科研领域中常见的功能性金属薄膜材料。

产品详情（Detailed Description）

材料特性

• 高耐腐蚀性
  Al 与 Si 显著提升薄膜的抗氧化能力，适用于苛刻环境。

• 优异的高温稳定性
  Si 的加入提升薄膜在高温条件下的结构保持能力。

• 良好的机械强度与附着力
  Fe 提供硬度与结构强度，适合保护膜与功能层。

• 电学性能可调
  通过调整 Fe/Al/Si 比例，可实现不同电阻率薄膜。

• 成膜颗粒率低、均匀性优异
  适用于多种 PVD 工艺。

常见成分（可定制）

• Fe80Al10Si10

• Fe70Al20Si10

• Fe60Al20Si20

• 或根据电阻率、耐蚀性、机械性能需求定制。

可供规格

• 直径：25–300 mm

• 厚度：3–6 mm

• 形状：圆靶 / 矩形靶

• 纯度：99.9%–99.99%

• 背板：Cu / Ti / In 焊接

• 表面粗糙度：Ra < 0.8 µm（可提供精抛光）

应用领域（Applications）

1. 电子与半导体薄膜

• 电极层

• 电阻薄膜

• 导电结构膜

• 电子封装金属层
  Al + Si 提升抗氧化性，使薄膜长期稳定。

2. 电磁屏蔽（EMI / EMC）材料

FeAlSi 导电性可调、磁性适中，非常适合用于：

• 屏蔽薄膜

• 高频吸收膜

• 电子设备金属保护层

3. 耐腐蚀与结构保护膜

• 防腐蚀金属层

• 耐磨保护层

• 高温抗氧化膜

• 工业零部件表面强化

4. 汽车电子与新能源

• 车载电子金属膜

• 电控模块屏蔽膜

• 电池结构层
  FeAlSi 的轻量化与耐蚀性使其在汽车电子领域优势明显。

5. 科研用途

• 多元合金薄膜研究

• 机械/电学性能调控研究

• 功能性层间结构开发

• 纳米复合薄膜探索

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

1. FeAlSi 可以做大尺寸靶材吗？
可以，支持 4″、6″、8″、12″ 及定制规格。

2. 是否适用于 RF 和 DC 溅射？
两者均适用，磁控溅射表现稳定。

3. 配比可以调整吗？
可以，根据电阻率、耐蚀性和力学要求进行定制。

4. FeAlSi 薄膜是否容易氧化？
Al 与 Si 的加入显著增强抗氧化性，薄膜稳定性高。

5. 是否提供检测报告？
可提供 ICP、XRF、密度、粗糙度等数据。

包装与交付（Packaging）

• 真空密封

• 防静电袋 + 防震泡棉

• 出口级纸箱或木箱

• 每件产品附带唯一批次编号用于追踪

结论（Conclusion）

铁铝硅靶材（FeAlSi）结合了 Fe 的机械性能、Al 的耐腐蚀与轻量化优势，以及 Si 的高温稳定性，是电子、磁性、工业防护以及科研领域的重要薄膜材料。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密、成分可定制的 FeAlSi 溅射靶材，适合科研与量产需求。