钴铌锆靶材（CoNbZr）

产品简介（Introduction）

钴铌锆靶材（CoNbZr）是一种多元金属合金靶材，由钴（Co）、铌（Nb）和锆（Zr）组成，具有优异的磁性能、耐腐蚀性、高温稳定性以及出色的力学强度。该材料在磁性薄膜、MEMS 器件、精密传感器以及结构功能层领域具有广泛应用，是高端磁学和电子工业中重要的溅射靶材之一。

Co 提供磁响应特性，Nb 改善结构稳定性与磁性调控能力，Zr 则提升耐腐蚀性与热稳定性，使得 CoNbZr 在复杂工况下仍能保持稳定的薄膜特性。

产品详情（Detailed Description）

主要特性

• 优异的软磁性能，适用于高频磁性薄膜

• 高耐蚀性与抗氧化能力（Zr 的加入显著增强）

• 结构致密、溅射稳定、颗粒率低

• 良好的高温稳定性（适用于退火与微结构调控）

• 成膜附着力强、应力低

• 与常见基底（Si、玻璃、SUS、陶瓷）兼容性好

典型配比（可定制）

• Co70Nb20Zr10

• Co65Nb25Zr10

• Co60Nb25Zr15

• 或根据磁性能/硬度/应力需求定制

可供规格

• 直径：25–300 mm

• 厚度：3–6 mm

• 纯度：99.9%–99.99%

• 形状：圆靶、矩形靶

• 背板结合：Cu / Ti / In 焊接

• 表面粗糙度：Ra < 0.8 μm（可精抛光）

应用领域（Applications）

1. 磁性薄膜材料

CoNbZr 是软磁材料中应用广泛的合金靶材，用于：

• 高频磁性薄膜

• 磁屏蔽层

• 功能磁性结构层

• 变压器 / 电感薄膜材料

2. MEMS 与微电子器件

• 微型磁传感器

• 加速度计结构层

• 微机电系统的磁性功能层

3. 磁记录与数据存储

• 读写磁头薄膜

• 磁阻材料结构层

• 高频响应结构膜

4. 耐腐蚀与结构强化膜

• 工业设备抗磨损膜层

• 防腐蚀功能薄膜

• 在高温、腐蚀环境下的结构保护层

5. 科研与新功能性材料开发

• 多元磁性合金薄膜研究

• 磁性调控机制研究

• 高频器件材料开发

• 纳米功能薄膜结构设计

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

1. CoNbZr 薄膜是否适用于高频应用？
是的，软磁特性使其非常适合高频器件。

2. CoNbZr 可否制作大尺寸靶材？
可提供 4″、6″、8″、12″ 及定制规格。

3. 成分能完全定制吗？
可以，根据磁性、应力与硬度要求调整配比。

4. 是否支持 RF 和 DC 溅射？
均支持，磁控溅射表现稳定。

5. 是否提供检测报告？
可提供 ICP、XRF、密度、表面粗糙度等分析。

包装与交付（Packaging）

• 真空封装防氧化

• 防静电袋

• 防震泡棉保护

• 出口级纸箱或木箱

• 每件靶材附带唯一追踪编号

结论（Conclusion）

钴铌锆靶材（CoNbZr）是一种具有高稳定性、软磁性与耐腐蚀性的功能性合金靶材，广泛用于磁性薄膜、MEMS 器件、传感器和结构功能层。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密、成分可调的 CoNbZr 靶材，满足科研与生产需求。