氧化钐铈靶材(SmCeO)

氧化钐铈靶材(SmCeO)

产品简介(Introduction)

氧化钐铈靶材(SmCeO)是一种稀土复合氧化物靶材,由钐(Sm)与铈(Ce)形成的固溶氧化物结构组成。Sm–Ce–O 体系具有优异的化学稳定性、可调控氧空位、大离子迁移率以及良好的光、电、催化特性,在薄膜科学研究领域具有重要地位。

SmCeO 靶材主要用于磁控溅射制备功能氧化物薄膜,常见于光电材料、界面工程、催化薄膜、氧化物电子学及多层结构的基础研究。


产品详情(Detailed Description)

苏州科跃材料科技有限公司生产的 SmCeO 溅射靶材采用高纯粉体,经冷等静压(CIP)成型、高温固相烧结与精密研磨制备而成,具有致密度高、表面均匀、结构稳定等特点,适用于科研级与工程级薄膜制备。

典型规格:

  • 纯度: 99.9% – 99.99%

  • 尺寸: Ø25–Ø300 mm,可定制矩形、方形、阶梯靶、分割靶

  • 厚度: 3–6 mm(支持定制)

  • 制造工艺: CIP 成型 + 高温烧结 + 精磨

  • 背板结合: 铜(Cu)、钛(Ti)、铟焊(In-Bonding)均可提供

性能亮点:

  • 高致密度,有效减少颗粒生成

  • 成分均匀,提升薄膜电学与光学性能稳定性

  • 可根据研究需求定制 Sm:Ce 比例

  • 优异的热稳定性与机械完整性


应用领域(Applications)

SmCeO 靶材在多个功能薄膜领域中具有重要作用:

  • 氧化物电子材料(Oxide Electronics)

    • 介电薄膜、绝缘层、界面调控层

  • 光电功能薄膜(Optoelectronic Thin Films)

    • 调制层、吸收层、多层结构材料

  • 催化与储氧薄膜(Catalytic / Oxygen Storage Films)

    • 用于 CeO₂–Sm₂O₃ 系列催化材料研究

  • 固体氧化物离子导体研究(Ion Conducting Films)

    • 氧离子传导材料、气敏薄膜

  • 外延与界面工程(Interface Engineering)

    • 异质结薄膜、多层功能膜结构

  • 科研与高等院校实验

    • PVD、RF/DC 磁控溅射

    • 高通量材料筛选


技术参数(Technical Parameters)

参数 典型值 / 范围 重要性说明
纯度 99.9% – 99.99% 提升薄膜纯净度与电学/光学稳定性
密度 ≥ 90% 理论密度 减少溅射颗粒,提高膜层致密度
尺寸 Ø25–300 mm 兼容多数科研级与量产设备
厚度 3–6 mm 影响沉积速率与靶材寿命
背板 Cu / Ti / Indium Bonding 提升散热能力与平整度稳定性
工艺 CIP + 高温烧结 + 精磨 保证优良机械性能与一致性

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 优势 典型应用
SmCeO 氧空位可调、结构稳定 光电薄膜、催化薄膜、界面材料
Sm₂O₃ 高折射率、稳定性好 光学镀膜、陶瓷材料
CeO₂ 储氧能力强、催化性能优异 催化薄膜、光学薄膜

常见问题(FAQ)

问题 答案
SmCeO 适用于哪些溅射方式? 兼容 RF、DC、脉冲 DC 等磁控溅射系统。
SmCeO 薄膜具备哪些特点? 氧空位可调、界面兼容性好、光电性能可控。
是否支持定制化 Sm:Ce 比例? 支持,根据科研需求精确配比。
靶材是否容易出现掉渣? 采用高致密烧结工艺,可显著降低颗粒产生。
是否推荐使用背板? 大尺寸靶材建议使用 Cu / Ti 背板提升散热与平整度。
可否提供材料分析报告? 可提供 XRD、密度、粒度、SEM 等数据。
可否用于外延或多层结构研究? SmCeO 具备良好界面兼容性,适合异质结薄膜制备。
靶材是否吸湿? 储存于干燥环境下稳定,建议密封保存。
是否适用于光学镀膜? 可用作调制层或氧化物功能层。
是否支持矩形靶、阶梯靶? 全部支持定制。

包装与交付(Packaging)

所有 SmCeO 靶材均经过严格的纯度、密度、结构与尺寸检测,并贴附唯一追踪编码。
包装采用真空密封、防震泡沫与出口级木箱,确保运输过程安全、洁净、无损。


结论(Conclusion)

氧化钐铈靶材(SmCeO)作为一种高性能稀土复合氧化物靶材,在光电材料、催化薄膜、功能氧化物以及外延研究中具有广泛应用。凭借其高纯度、高致密度与可定制化特点,是科研机构及先进制造企业的优选材料。

如需更多规格或报价,请联系:
sales@keyuematerials.com