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氧化镍钴靶材(NiCoO)是一类由镍(Ni)与钴(Co)形成的过渡金属复合氧化物靶材,因其优异的电化学活性、磁性调控能力、导电特性与化学稳定性,广泛应用于电催化薄膜、电极材料、磁性薄膜、阻变存储器以及多层功能薄膜的研究与制备。
Ni–Co–O 体系具备可调控的电子结构和氧空位行为,使其成为新能源材料、氧化物电子学及多层功能涂层的重要薄膜源材料。
苏州科跃材料科技有限公司提供高纯、高致密度 NiCoO 溅射靶材,采用高纯粉体经冷等静压(CIP)成型、高温烧结与精密研磨制备,确保靶材具有优秀的均匀性、机械稳定性与可靠的溅射性能。
标准规格:
纯度: 99.9%(3N)– 99.99%(4N)
尺寸: Ø25–Ø300 mm 圆形靶,可定制矩形、阶梯靶
厚度: 3–6 mm,可按需求定制
成分比例: Ni:Co 可根据科研要求配比
制造工艺: CIP 成型 + 高温烧结 + 精磨
背板(可选): Cu / Ti / In-Bonding(适合大尺寸散热)
外观: 深灰至黑色陶瓷体,高致密、均匀无明显孔洞
性能亮点:
高致密度,降低溅射颗粒
成分均匀性优异,膜层稳定性高
可调控电学、磁性与催化性能
适用于高要求的磁控溅射系统(RF / DC / Pulsed DC)
电催化薄膜(OER / ORR / HER)
电极保护层
锂离子/钠离子电池薄膜结构
电阻式存储器(ReRAM)
电导调控材料
Ni–Co–O 系列磁性材料
磁电耦合薄膜
多层吸收膜
光学调制层
气敏薄膜(H₂、NO₂、O₂、VOC 等)
氧空位可控功能膜
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%–99.99% | 提高薄膜电学与磁性稳定性 |
| 密度 | ≥ 90% 理论密度 | 高致密度减少颗粒,提高膜均匀性 |
| 尺寸 | Ø25–Ø300 mm | 适配各种溅射腔体 |
| 厚度 | 3–6 mm | 根据寿命与沉积需求定制 |
| 成分比例 | Ni:Co 可调 | 决定薄膜的导电性、磁性与催化性 |
| 背板 | Cu / Ti / In 焊接 | 大尺寸靶材散热必需 |
| 工艺 | CIP + 烧结 + 精磨 | 获得稳定、低缺陷靶材结构 |
| 材料 | 优势 | 应用领域 |
|---|---|---|
| NiCoO | 磁性/催化性能优异,可调控性强 | 能源薄膜、磁性薄膜、ReRAM |
| NiO | 稳定性高、常用于光电器件 | 透明电子、p 型薄膜 |
| CoO | 电化学性能突出 | 电极与催化材料 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| NiCoO 靶材适用哪种溅射方式? | RF、DC、脉冲 DC 均适用。 |
| Ni:Co 比例可以定制吗? | 可以,科研及项目可按需配比。 |
| 膜层会产生颗粒吗? | 采用高致密靶材可显著降低颗粒风险。 |
| NiCoO 是否适合用于电催化研究? | 非常适合,尤其是 OER/ORR/HER 研究。 |
| 可否与其他氧化物共溅射? | 可与 NiO、CoO、MnOₓ、FeOₓ 等搭配使用。 |
| 是否提供分析报告? | 可按需提供 XRD、SEM、密度与化学成分分析。 |
| 靶材是否吸潮? | 稳定性好,常温干燥环境即可保存。 |
| 是否适合多层结构薄膜? | 是,常用于功能层或界面调控层。 |
| 是否支持阶梯靶? | 支持所有定制结构,包括阶梯靶与分割靶。 |
| 大尺寸靶材是否需要背板? | 建议使用,以确保平整度与散热稳定性。 |
所有 NiCoO 靶材出厂前均进行以下检测:
密度、纯度、成分一致性
尺寸与公差
表面粗糙度
显微结构
并贴附唯一追踪编号。
包装方式:
真空密封
防震泡沫保护
出口级木箱包装
确保运输途中无破损、无污染。
氧化镍钴靶材(NiCoO)凭借其可调控的电子结构、优异的电化学性能与磁性特性,在能源材料、磁性薄膜、氧化物电子学及新型存储器领域具有重要应用价值。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密、可定制的 NiCoO 靶材,为科研和量产提供可靠的材料支持。
如需更多规格、数据表或报价,请联系:
sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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