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氧化镧锶靶材(LaSrO)是一类稀土元素镧(La)与碱土金属锶(Sr)构成的复合氧化物靶材,属于重要的功能氧化物材料体系。在薄膜制备领域,La–Sr–O 系材料常用于制备介电薄膜、氧化物电子学结构、外延缓冲层、多层光电功能膜及电学性能调控薄膜。
得益于 La 与 Sr 的离子半径差异及晶格可调性,LaSrO 具有较高的化学稳定性、可调控的电学/介电性能及良好的薄膜兼容性,是科研与工程化应用中常用的关键功能薄膜材料。
苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度、高致密度的 LaSrO 溅射靶材,采用高纯原料经冷等静压(CIP)成型、高温固相烧结与精密研磨,使靶材具备优异的均匀性、机械稳定性与溅射寿命。
规格与制程:
纯度等级: 99.9%(3N)– 99.99%(4N)
尺寸范围: Ø25–Ø300 mm
厚度: 3–6 mm,可按需定制
化学计量比: La:Sr 比例可定制(如 1:1、2:1、非化学计量)
制造工艺: CIP 成型 + 高温烧结 + 精磨
背板选项: Cu / Ti / Indium bonding(适合大尺寸散热控制)
外观: 深灰–深黑色陶瓷体,高致密表面
材料优势:
致密结构降低颗粒产生
成分均匀,提高薄膜电学与介电稳定性
可调节晶格参数,适用于外延薄膜与多层结构
良好的热稳定性与机械强度
电阻式存储器(ReRAM)
介电薄膜、绝缘层
功能性氧化物界面工程
外延缓冲层
多层结构中的晶格匹配层
光学调制层
多层光学膜设计
电导可调薄膜
介电常数调控薄膜
氧空位材料研究
气敏功能薄膜
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%–99.99% | 薄膜缺陷减少,电学/光学性能更稳定 |
| 密度 | ≥ 90% 理论密度 | 高致密减少溅射颗粒 |
| 尺寸 | Ø25–Ø300 mm | 兼容各类溅射系统 |
| 厚度 | 3–6 mm | 控制沉积速率与寿命 |
| La:Sr 比例 | 可定制 | 影响薄膜晶格常数与电学性能 |
| 背板 | Cu / Ti / In 焊接 | 提升散热与平整度 |
| 工艺 | CIP + 烧结 + 精磨 | 获得致密、稳定的靶材结构 |
| 材料 | 优势 | 应用 |
|---|---|---|
| LaSrO | 晶格可调、介电性能佳 | 外延薄膜、介电结构 |
| La₂O₃ | 高折射率、强介电性 | 光学薄膜、陶瓷材料 |
| SrO / SrTiO₃ | 强氧化物电子特性 | 外延、电子材料研究 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| LaSrO 靶材适用于哪些溅射方式? | RF、DC、脉冲 DC 磁控溅射均可。 |
| 可否定制 La:Sr 具体比例? | 完全支持科研定制,如 La₀.₇Sr₀.₃O。 |
| LaSrO 薄膜适合外延生长吗? | 是,常用于外延缓冲层和界面工程。 |
| 是否需要背板? | 大尺寸靶材建议 Cu/Ti 背板提升散热。 |
| 靶材会产生颗粒吗? | 高致密度烧结显著降低颗粒风险。 |
| 是否支持阶梯靶? | 支持,包括圆形、矩形、阶梯、分割靶。 |
| 是否可用于多层光学膜? | 是,可作为折射率调控层。 |
| 储存是否需要干燥? | 建议常温干燥环境密封保存。 |
| 是否提供分析报告? | 可提供 XRD、SEM、EDS、密度等数据。 |
| 是否适合 ReRAM? | 可作为电阻变化材料体系的一部分。 |
所有 LaSrO 靶材均经过严格检测,包括纯度、密度、尺寸公差、成分均匀性与显微结构,并贴附唯一追踪编号。
包装采用:
真空密封
防震泡沫保护
出口级木箱
确保运输过程安全、无污染、无破损。
氧化镧锶靶材(LaSrO)结合稀土与碱土氧化物的结构优势,是外延薄膜、电学功能薄膜、介电结构以及光电材料研究中的关键材料。苏州科跃提供高纯、高致密、可定制的 LaSrO 靶材,为科研与量产提供可靠材料解决方案。
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sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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