氧化铟钼靶材(InMoO)

氧化铟钼靶材(InMoO)

产品简介(Introduction)

氧化铟钼靶材(InMoO)是一种由铟(In)与钼(Mo)组成的复合氧化物靶材,属于功能氧化物薄膜材料。In–Mo–O 体系具有优异的透明导电特性、光学稳定性和可调控的电学性能,是透明导电膜(TCF)、光电器件、薄膜晶体管(TFT)与柔性电子的重要材料之一。

相比传统 ITO(氧化铟锡),InMoO 在电导率稳定性、可控性及高温性能方面具有潜在优势,并适用于更广泛的薄膜沉积工艺与基底材料。


产品详情(Detailed Description)

苏州科跃材料科技有限公司提供高纯、高致密度 InMoO 溅射靶材。靶材通过冷等静压(CIP)成型、高温烧结与精密研磨工艺制备,确保膜层成分稳定、结构均匀、表面缺陷少。

产品规格:

  • 纯度: 99.9% – 99.99%

  • 尺寸: Ø25–Ø300 mm 圆形靶,可定制矩形靶

  • 厚度: 3–6 mm(可定制)

  • 化学计量比: In:Mo 比例可根据科研需求调整

  • 制造工艺: CIP 成型 + 烧结致密化 + 精磨

  • 背板选项: Cu / Ti / In 焊接

材料特点:

  • 高致密度结构,溅射稳定性强

  • 成分均匀,适合透明导电薄膜制备

  • 低颗粒、低缺陷,适用于高精度光电薄膜

  • 可用于 RF / DC / 脉冲溅射系统


应用领域(Applications)

氧化铟钼靶材广泛应用于透明电子与能量相关薄膜材料:

透明导电膜(TCF)

  • 显示器(LCD、OLED、Micro-LED)

  • 触控屏

  • 柔性导电薄膜

薄膜晶体管(TFT)

  • 透明 TFT

  • Oxide TFT(OTFT)

光电器件(Optoelectronics)

  • 太阳能电池透明电极

  • 透明吸收层/调制层

多层光学结构与界面工程

  • 折射率调控薄膜

  • 多层光学干涉膜


技术参数(Technical Parameters)

参数 典型值 / 范围 重要性说明
纯度 99.9%–99.99% 提高膜层光电性能与稳定性
密度 ≥ 90% 理论密度 降低颗粒,提高薄膜均匀性
尺寸 Ø25–Ø300 mm 适配各种溅射腔体
厚度 3–6 mm 决定溅射寿命与速率
In:Mo 比例 可定制 影响导电性、透光率与稳定性
背板结合 Cu / Ti / In 提升散热与平整度
工艺 CIP + 烧结 + 精磨 获得高一致性、高致密靶材

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 优势 应用
InMoO 可调电导率、稳定性高 透明导电膜、TFT
ITO(In₂O₃:Sn) 商用成熟,导电性强 显示与触控
ZnO-基材料 成本低、环保 TCO、薄膜器件

常见问题(FAQ)

问题 答案
InMoO 靶材能否替代 ITO? 视应用而定,在透明度与高温稳定性方面具有优势。
In:Mo 比例可否定制? 可以,根据科研需求定制不同化学计量。
是否适用于柔性基底? 可在低温工艺中使用,适合柔性电子材料。
是否用于 RF 或 DC? RF、DC、脉冲 DC 均兼容。
是否需要背板? 大尺寸靶材推荐使用 Cu/Ti 背板帮助散热。
是否提供测试报告? 可提供 XRD、SEM、密度、成分分析等。
是否适合光学多层膜? 是,可作为折射率可调层或透明功能层。
是否容易潮解? 稳定性良好,常温干燥环境即可保存。
可否用于太阳能电池? 可作为透明电极或界面层材料。
是否支持阶梯靶、矩形靶? 全部支持定制。

包装与交付(Packaging)

所有 InMoO 靶材均经过密度、纯度、成分、尺寸与表面平整度检测,并贴附唯一追踪编号。
包装采用:

  • 真空密封

  • 防震保护

  • 出口级木箱

确保靶材在运输与存储过程中保持洁净与稳定。


结论(Conclusion)

氧化铟钼靶材(InMoO)凭借其优秀的透明导电性能、稳定性与可调控特性,是光电显示、透明电子与薄膜器件中关键的溅射材料。
苏州科跃材料科技有限公司提供高纯、高致密、可定制的 InMoO 靶材,为科研与工业客户提供可靠选择。

如需了解更多规格或报价,请联系:
sales@keyuematerials.com