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氧化锶靶材(SrO)是一种由碱土金属锶(Sr)形成的高纯功能氧化物材料,具有优良的化学稳定性、高熔点、良好的介电性能以及与多种氧化物体系的结构兼容性。SrO 常用于光学薄膜、介电薄膜、氧化物电子学、外延缓冲层以及多层功能膜结构,是科研及工业薄膜制备中不可或缺的重要材料。
SrO 可参与构建多种复合氧化物体系,如 SrTiO₃、SrRuO₃、SrZrO₃ 等,其溅射薄膜在电子元件、光学器件与外延结构中具有广泛用途。
苏州科跃材料科技有限公司采用高纯粉体,经冷等静压(CIP)、高温烧结与精密研磨制备高质量 SrO 溅射靶材,确保靶材致密、稳定、均匀,适用于高要求薄膜制备。
规格参数:
纯度: 99.9%(3N) – 99.99%(4N)
尺寸: Ø25–Ø300 mm 圆形靶(可定制矩形靶)
厚度: 3–6 mm
制造工艺: CIP 成型 + 高温烧结 + 精磨
背板(可选): Cu / Ti / In 焊接(适合大尺寸散热)
外观: 白色至浅灰色致密陶瓷靶材,无明显孔洞与裂纹
材料优势:
高致密度,有效降低溅射颗粒
成分纯净,薄膜均匀性佳
可作为多种氧化物薄膜体系基础材料
高热稳定性,适合较高功率溅射
构建 Sr 系 perovskite 材料(如 SrTiO₃、SrRuO₃)
外延薄膜与缓冲层(Buffer Layer)
多层结构界面调控
高折射率薄膜
干涉膜结构(Interference Coatings)
传感器光学层
高介电常数陶瓷薄膜
绝缘层与阻挡层
功能电子封装材料
氧空位驱动材料
金属氧化物催化体系
在高温领域用作稳定氧化物薄膜源
氧化物保护层
| 参数 | 范围 / 典型值 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 影响薄膜的光学、电学与介电性能 |
| 密度 | ≥ 90% 理论密度 | 高致密性减少溅射颗粒 |
| 尺寸 | Ø25–Ø300 mm | 适配主流溅射系统 |
| 厚度 | 3–6 mm | 可根据寿命与沉积速率调整 |
| 背板 | Cu / Ti / In 焊接 | 大尺寸靶材更需散热稳定性 |
| 制造工艺 | CIP + 烧结 + 精磨 | 保证结构均匀与表面平整 |
| 外观 | 白/浅灰陶瓷体 | 纯净度高、无裂纹 |
| 材料 | 特点 | 应用方向 |
|---|---|---|
| SrO | 高稳定性、结构兼容性强 | 外延薄膜、光学膜、介电膜 |
| SrTiO₃ | 高介电常数、外延兼容性好 | Oxide electronics、TFT |
| SrZrO₃ | 高温稳定性优异 | 光学薄膜、耐热薄膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| SrO 靶材适用于哪些溅射方式? | RF、DC、脉冲溅射均可使用。 |
| 是否容易吸湿? | SrO 对湿气较敏感,建议干燥环境保存。 |
| 是否能与其他氧化物共溅射? | 可以,如 TiO₂、ZrO₂、RuO₂ 等。 |
| 是否适合制作外延薄膜? | 是,常作为 Sr 系 perovskite 的组分来源。 |
| 大尺寸靶材需要背板吗? | 建议使用,改善散热与稳定性。 |
| 可否做阶梯靶/矩形靶? | 全支持定制。 |
| 是否提供材料分析? | 可提供 XRD、SEM、EDS、密度测试等。 |
| 成分会随溅射变化吗? | 稳定性好,一般成分偏差很小。 |
| 是否适用于光学镀膜? | 是,特别适用于干涉膜与折射率调控膜。 |
| 溅射后薄膜是否透明? | SrO 薄膜通常呈透明或浅色。 |
所有 SrO 靶材出厂前均经过:
纯度检测
密度与孔隙率测试
成分分析
XRD 结构确认
尺寸与镜面平整度检查
包装方式:
真空密封
防震泡沫
干燥剂保护
出口级木箱运输
确保运输过程中不受潮、不破损。
氧化锶靶材(SrO)因其优异的结构稳定性、光/电/介电特性与广泛的氧化物兼容性,在光学薄膜、外延工程、介电层与功能氧化物薄膜领域发挥着重要作用。苏州科跃可提供高纯、高致密、可定制化的 SrO 靶材,是科研院所与工业薄膜制备的可靠选择。
如需技术参数、检测报告或正式报价,请联系:
sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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