氧化锶靶材(SrO)

氧化锶靶材(SrO)

产品简介(Introduction)

氧化锶靶材(SrO)是一种由碱土金属锶(Sr)形成的高纯功能氧化物材料,具有优良的化学稳定性、高熔点、良好的介电性能以及与多种氧化物体系的结构兼容性。SrO 常用于光学薄膜、介电薄膜、氧化物电子学、外延缓冲层以及多层功能膜结构,是科研及工业薄膜制备中不可或缺的重要材料。

SrO 可参与构建多种复合氧化物体系,如 SrTiO₃、SrRuO₃、SrZrO₃ 等,其溅射薄膜在电子元件、光学器件与外延结构中具有广泛用途。


产品详情(Detailed Description)

苏州科跃材料科技有限公司采用高纯粉体,经冷等静压(CIP)、高温烧结与精密研磨制备高质量 SrO 溅射靶材,确保靶材致密、稳定、均匀,适用于高要求薄膜制备。

规格参数:

  • 纯度: 99.9%(3N) – 99.99%(4N)

  • 尺寸: Ø25–Ø300 mm 圆形靶(可定制矩形靶)

  • 厚度: 3–6 mm

  • 制造工艺: CIP 成型 + 高温烧结 + 精磨

  • 背板(可选): Cu / Ti / In 焊接(适合大尺寸散热)

  • 外观: 白色至浅灰色致密陶瓷靶材,无明显孔洞与裂纹

材料优势:

  • 高致密度,有效降低溅射颗粒

  • 成分纯净,薄膜均匀性佳

  • 可作为多种氧化物薄膜体系基础材料

  • 高热稳定性,适合较高功率溅射


应用领域(Applications)

1. 氧化物电子学(Oxide Electronics)

  • 构建 Sr 系 perovskite 材料(如 SrTiO₃、SrRuO₃)

  • 外延薄膜与缓冲层(Buffer Layer)

  • 多层结构界面调控

2. 光学薄膜(Optical Films)

  • 高折射率薄膜

  • 干涉膜结构(Interference Coatings)

  • 传感器光学层

3. 介电材料与电子封装

  • 高介电常数陶瓷薄膜

  • 绝缘层与阻挡层

  • 功能电子封装材料

4. 催化与气敏薄膜

  • 氧空位驱动材料

  • 金属氧化物催化体系

5. 结构材料与耐火薄膜

  • 在高温领域用作稳定氧化物薄膜源

  • 氧化物保护层


技术参数(Technical Parameters)

参数 范围 / 典型值 重要性说明
纯度 99.9% – 99.99% 影响薄膜的光学、电学与介电性能
密度 ≥ 90% 理论密度 高致密性减少溅射颗粒
尺寸 Ø25–Ø300 mm 适配主流溅射系统
厚度 3–6 mm 可根据寿命与沉积速率调整
背板 Cu / Ti / In 焊接 大尺寸靶材更需散热稳定性
制造工艺 CIP + 烧结 + 精磨 保证结构均匀与表面平整
外观 白/浅灰陶瓷体 纯净度高、无裂纹

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 特点 应用方向
SrO 高稳定性、结构兼容性强 外延薄膜、光学膜、介电膜
SrTiO₃ 高介电常数、外延兼容性好 Oxide electronics、TFT
SrZrO₃ 高温稳定性优异 光学薄膜、耐热薄膜

常见问题(FAQ)

问题 答案
SrO 靶材适用于哪些溅射方式? RF、DC、脉冲溅射均可使用。
是否容易吸湿? SrO 对湿气较敏感,建议干燥环境保存。
是否能与其他氧化物共溅射? 可以,如 TiO₂、ZrO₂、RuO₂ 等。
是否适合制作外延薄膜? 是,常作为 Sr 系 perovskite 的组分来源。
大尺寸靶材需要背板吗? 建议使用,改善散热与稳定性。
可否做阶梯靶/矩形靶? 全支持定制。
是否提供材料分析? 可提供 XRD、SEM、EDS、密度测试等。
成分会随溅射变化吗? 稳定性好,一般成分偏差很小。
是否适用于光学镀膜? 是,特别适用于干涉膜与折射率调控膜。
溅射后薄膜是否透明? SrO 薄膜通常呈透明或浅色。

包装与交付(Packaging)

所有 SrO 靶材出厂前均经过:

  • 纯度检测

  • 密度与孔隙率测试

  • 成分分析

  • XRD 结构确认

  • 尺寸与镜面平整度检查

包装方式:

  • 真空密封

  • 防震泡沫

  • 干燥剂保护

  • 出口级木箱运输

确保运输过程中不受潮、不破损。


结论(Conclusion)

氧化锶靶材(SrO)因其优异的结构稳定性、光/电/介电特性与广泛的氧化物兼容性,在光学薄膜、外延工程、介电层与功能氧化物薄膜领域发挥着重要作用。苏州科跃可提供高纯、高致密、可定制化的 SrO 靶材,是科研院所与工业薄膜制备的可靠选择。

如需技术参数、检测报告或正式报价,请联系:
sales@keyuematerials.com