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氧化铱靶材(IrO)是由贵金属铱(Ir)形成的高性能氧化物材料,具有极高的化学稳定性、电化学活性和优异的耐腐蚀性。Ir–O 系材料在电化学薄膜、催化薄膜、传感器、电极功能层以及耐极端环境薄膜领域有着非常重要的应用价值。
IrO 对酸、碱、盐、氯化物等环境均表现出强耐受性,是制备高稳定性功能薄膜的首选材料之一,尤其适用于高腐蚀性条件下的电化学器件与贵金属功能涂层。
苏州科跃材料科技有限公司采用高纯原料,通过冷等静压(CIP)、高温烧结、精密研磨制备高致密度 IrO 溅射靶材。靶材具有良好的表面平整度与稳定性,适用于高端磁控溅射设备。
产品规格:
纯度: 99.9%
尺寸: Ø25–Ø200 mm(可定制 Ø300 mm 及矩形靶)
厚度: 3–6 mm
制造工艺: CIP 成型 + 高温烧结 + 精磨
背板: Cu / Ti / Indium Bonding(用于大尺寸靶材散热)
外观: 深灰或黑色陶瓷表面,高致密、细腻均匀
性能亮点:
高耐腐蚀性与高温稳定性
良好的电化学催化特性
成分均匀、适合长时间稳定溅射
可用于极端环境下的薄膜制备
电解电极材料
电化学传感器
氧析出(OER)催化涂层
氯气析出电极薄膜(DSA 类涂层)
光催化层
电催化界面层
多层催化结构
盐水、酸性溶液、氯化物环境的防护薄膜
化工设备用功能涂层
功能界面层
高稳定性保护层
Ir–O–X 复合结构
氧空位驱动的电子结构材料
| 参数 | 范围 / 值 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9% | 高纯度确保薄膜一致性与稳定性 |
| 密度 | ≥ 85–92% 理论密度 | 高致密减少颗粒,提高膜质 |
| 尺寸 | Ø25–Ø200/300 mm | 适用于各种溅射系统 |
| 厚度 | 3–6 mm | 可根据寿命需求调整 |
| 背板 | Cu / Ti / In 焊接 | 大尺寸靶材推荐以增强散热 |
| 外观 | 深灰–黑色陶瓷体 | 结构稳定,表面无裂纹 |
| 工艺 | CIP + 烧结 + 精磨 | 形成均匀、细致的靶材结构 |
| 材料 | 特点 | 常见用途 |
|---|---|---|
| IrO | 耐腐蚀、高稳定、强催化性 | 电极薄膜、催化薄膜 |
| Ir Metal | 超高导电性、极强耐蚀性 | 电极、光电薄膜 |
| RuO₂ | 电化学性能高、成本较低 | 催化、电极材料 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| IrO 靶材适用于哪些溅射方式? | RF、DC、脉冲 DC 均可使用。 |
| 是否适合做催化薄膜? | 是,IrO 在 OER/电极催化领域表现优异。 |
| IrO 是否易吸湿? | 稳定性较好,但建议干燥密封保存。 |
| 是否可与其他氧化物共溅射? | 可以,如 TiO₂、RuO₂、CeO₂ 等。 |
| 大尺寸靶材是否需要背板? | 强烈建议,以提升散热与机械强度。 |
| 是否支持阶梯靶? | 支持所有定制形状与尺寸。 |
| 靶材是否容易开裂? | 高致密烧结工艺可有效避免。 |
| 是否可用于腐蚀性环境薄膜? | 是 IrO 的主要优势领域之一。 |
| 是否提供检测分析? | 可提供 XRD、SEM、EDS、密度测试。 |
| 溅射薄膜是否导电? | Ir–O 系薄膜具有良好的电催化活性,但电导率取决于氧化态。 |
每片 IrO 靶材在出厂前均经过严格质控,包括:
纯度检测
密度测试
显微结构检查
尺寸与公差校准
表面粗糙度检测
包装方式:
真空密封
防震泡沫
抗冲击硬盒或木箱
运输过程保持干燥洁净
氧化铱靶材(IrO)凭借其无与伦比的化学稳定性、电化学活性和耐腐蚀性,是电极、催化薄膜、化工环境防护薄膜及高端氧化物薄膜制备中的关键材料。
苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度、可定制的 IrO 靶材,为科研与工业应用提供可靠支持。
如需报价或技术资料,请联系:
sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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