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氧化镉靶材(CdO)是一种 II–VI 族金属氧化物,具有高电子迁移率、良好的导电性、宽带隙(~2.2–2.7 eV)、稳定的光学特性以及可调控的载流子浓度,是重要的透明导电薄膜材料(TCO)。CdO 在红外光学、光电探测、透明电子学、传感器以及多层功能薄膜体系中具有广泛应用。
由于其出色的导电性和可见光–红外区的高透过性,CdO 是制备高性能透明电极、光电窗口层和红外器件的重要靶材。
苏州科跃材料科技有限公司采用高纯前驱物,通过冷等静压(CIP)、高温烧结与精密研磨工艺生产高致密 CdO 溅射靶材,确保薄膜制备的稳定性与一致性。
产品规格如下:
纯度: 99.9%(3N)、99.99%(4N)
尺寸: Ø25–Ø300 mm 圆形,可定制矩形或阶梯靶
厚度: 3–6 mm(可定制)
外观: 深灰至深绿色陶瓷质感,高致密度
工艺流程: CIP 成型 → 烧结致密化 → 精密研磨
背板: 可选 Cu / Ti / In-bonding(适用于大尺寸散热)
材料优势:
高电子迁移率,导电性出色
窄缺陷分布,薄膜均匀性高
高致密度确保低颗粒溅射
适用于 RF / DC / Pulsed DC 等多种溅射方式
红外窗口层
IR 透过薄膜
热镜、热控制膜
透明电极
平板显示器窗口层
太阳能电池透明电极
UV–IR 传感器
光电二极管窗口层
高透过率导电膜
透明半导体层
多层薄膜中的功能过渡层
氧空位敏感薄膜
II–VI 氧化物敏感元件
| 参数 | 范围 / 值 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%–99.99% | 确保薄膜透明性与电学性能稳定 |
| 密度 | ≥ 90% 理论密度 | 高致密减少颗粒,提高膜均匀性 |
| 尺寸 | Ø25–Ø300 mm | 可适配科研与量产设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 可根据沉积速率与寿命定制 |
| 电学特性 | 可调载流子浓度 | 取决于氧含量与沉积条件 |
| 背板 | Cu / Ti / In 焊接 | 大尺寸靶材建议使用 |
| 工艺路线 | CIP + 烧结 + 精磨 | 获得平整、稳定的靶材结构 |
| 材料 | 特点 | 典型应用 |
|---|---|---|
| CdO | 导电性强、红外透过率好 | TCO、IR 器件 |
| ITO(In₂O₃:Sn) | 成熟度高、透明度好 | 显示与触控 |
| ZnO + Al(AZO) | 环保、成本低 | TCO、薄膜电子 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| CdO 靶材是否有毒? | 固态 CdO 稳定,但加工时需避免粉尘吸入;溅射使用安全。 |
| 是否适用于 RF 溅射? | 是的,RF / DC / 脉冲溅射均兼容。 |
| 薄膜是否透明? | CdO 薄膜在可见光与红外区均具有高透过率。 |
| 是否可定制尺寸? | 支持所有尺寸与背板定制。 |
| 大尺寸靶材是否建议背板? | 建议 Cu/Ti 背板增强散热与稳定性。 |
| CdO 是否容易产颗粒? | 苏州科跃采用高致密烧结工艺,可显著减少颗粒生成。 |
| 是否提供 XRD / SEM 数据? | 可提供全套材料表征。 |
| 薄膜导电性能调控吗? | 可通过氧压、溅射功率与后退火调节。 |
| CdO 薄膜适合红外应用吗? | 是,红外透明性是 CdO 的核心优势之一。 |
| 是否做阶梯靶? | 可加工圆形、矩形、阶梯、分割靶。 |
每片 CdO 靶材出厂前均通过:
纯度检测
密度测试
EDS 化学成分分析
尺寸与表面平整度检查
包装方式:
真空密封
干燥防潮处理
防震泡沫保护
出口级木箱运输
确保运输过程中无污染、无破损。
氧化镉靶材(CdO)凭借其优异的导电性、透明度与红外性能,是透明电子、光电探测、IR 器件与多层结构薄膜制备的重要功能材料。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度、可按需定制的 CdO 靶材,为科研与量产应用提供可靠材料支持。
如需获取报价或更多技术参数,请联系:
sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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