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碲化锌(ZnTe)是一种直接带隙 II-VI 族化合物半导体材料,具有优异的光吸收能力和良好的晶体匹配特性,是制备红外光电器件、薄膜太阳能电池、量子点结构与光学镀膜的重要材料。在磁控溅射及其他 PVD 工艺中,ZnTe 靶材因其高纯度、致密性高与成膜均匀性优越,而被广泛应用于科研实验与工业量产。
ZnTe 薄膜可实现可控能带结构、高光吸收率及稳定的光电性能,是现代光电器件中不可或缺的功能薄膜材料。
ZnTe 靶材常采用真空热压、HIP、CIP 冷等静压成形等工艺制备,以确保高致密度与稳定微结构。
纯度:99.9%–99.999%(3N–5N)
尺寸:Ø25–300 mm 圆靶、矩形靶均可定制
厚度:3–6 mm(可按设备要求调整)
密度:≥95% 理论密度
制造工艺:高温烧结 / 热压 / HIP 以优化致密度与成膜稳定性
背板结合方式:铜 / 钛背板、铟焊,可提升散热能力与靶材机械稳定性
高纯且致密的 ZnTe 靶材能够有效提升薄膜晶体质量,减少针孔与颗粒缺陷,提高薄膜均匀性和光电性能,同时延长靶材使用寿命。
ZnTe 广泛用于以下高端薄膜制备:
红外光电器件:包括红外探测器、量子点结构、光伏吸收层
薄膜太阳能技术:用于 CdTe、CIGS、GaAs 等异质结设备中的缓冲层或吸收层
光学镀膜:红外窗口、滤光片、反射膜、多层光学膜系
半导体薄膜:用于能带调控、电极层、界面层
科研实验:用于材料掺杂、薄膜结构工程、多层功能结构研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%–99.999% | 纯度越高,薄膜缺陷越少,光电性能越稳定 |
| 尺寸 | Ø25–300 mm 可定制 | 适配各类实验与产线溅射系统 |
| 厚度 | 3–6 mm | 影响沉积速率与靶材整体寿命 |
| 密度 | ≥95% 理论密度 | 决定薄膜致密度与沉积稳定性 |
| 背板结合 | Cu / Ti / Indium Bonding | 提升散热能力并避免靶材热裂 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| ZnTe | 直接带隙、优良光吸收 | 光伏、红外探测器、光电结构 |
| CdTe | 更高吸收效率 | 太阳能电池 |
| ZnSe | 高透明度 | 红外窗口、滤光镀膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| ZnTe 支持哪种溅射方式? | 适用于 RF 及 DC 磁控溅射,其中 RF 更常见以减少靶面充电。 |
| ZnTe 薄膜主要应用在哪里? | 红外探测器、量子点结构、太阳能薄膜、光学镀膜等。 |
| 是否需要基底加热? | 建议适度加热以提升晶体质量与薄膜致密度。 |
| 可否与其他材料共溅射? | 可以,与 ZnSe、CdTe、CIGS 等材料共溅射可构建复杂异质结构。 |
| 靶材是否容易开裂? | 采用高致密度靶材并搭配铜/钛背板可显著降低热裂风险。 |
| 支持哪些基底? | 玻璃、Si、ITO、蓝宝石等。 |
| 光学参数是否可调? | 可通过气氛比例、功率与温度调节带隙与光吸收性能。 |
| ZnTe 是否适合太阳能薄膜? | 是,常用于 CIGS、CdTe、GaAs 等光伏结构中的功能层。 |
| 背板的作用是什么? | 提升热导率,稳定靶材结构并提升使用寿命。 |
| 如何储存 ZnTe 靶材? | 真空密封并避光保存,避免潮气导致表面轻微氧化。 |
所有 ZnTe 靶材均经过纯度、密度及外观的严格检验,并标注唯一可追踪编号。
标准包装包括:
真空密封袋防潮处理
防震泡沫结构
出口级坚固木箱
确保运输过程中靶材无污染、无损伤。
碲化锌靶材(ZnTe)凭借其优秀的光电特性、可控能带结构与稳定的溅射性能,成为高端光电器件、太阳能薄膜与光学镀膜中的关键材料。无论是科研还是量产领域,ZnTe 都能提供稳定可靠的薄膜制备表现。
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