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硼化锆靶材（ZrB 或常见相态 ZrB₂）是一种具有高熔点、高硬度、高导电性及优异耐腐蚀性能的陶瓷类功能材料。其结构致密、稳定性强，适用于需要耐高温、耐磨损、耐化学侵蚀的薄膜应用。
ZrB₂ 作为溅射靶材被广泛用于制备硬质薄膜、电极层、耐高温涂层、红外吸收材料以及高端电子元件。其优异的抗氧化能力与热稳定性，使其成为航空航天、半导体加工和先进制造领域的重要化合物材料。
● 纯度范围： 99.5% – 99.99%（可根据需求定制）
● 常见相态： ZrB₂（最常用）、ZrB
● 尺寸范围： Ø25–300 mm（支持非标尺寸）
● 厚度： 2–6 mm 或按需定制
● 理论致密度： ≥ 95%
● 工艺路线：
– 真空热压烧结（Hot Pressing）
– 冷等静压（CIP）
– 高温热等静压（HIP）
– 精密磨削、倒角与超声清洗
● 背板选项： 铜（Cu）、钛（Ti）、铟焊背板
● 外观特征： 深灰至黑色高致密陶瓷质感
● 适用设备： RF / DC 磁控溅射、PVD 涂层设备、离子束辅助沉积系统等
ZrB₂ 靶材硬度高、稳定性强，在高功率溅射条件下也能保持较低颗粒生成率，适合工业级批量涂层制程。
● 硬质耐磨涂层（Hard Coatings）
用于刀具、模具、耐磨部件的表面强化。
● 高温耐氧化涂层（Thermal & Oxidation Resistant Films）
ZrB₂ 的高熔点和抗氧化性适用于航天器、发动机部件等。
● 红外吸收膜（IR Absorbing Films）
ZrB₂ 薄膜具备优异的红外吸收特性，是光学系统中的重要功能层。
● 导电薄膜（Conductive Coatings）
结合陶瓷的高硬度与金属般的高导电性。
● 微电子与传感器
用于耐腐蚀电极层、加热元件等应用。
● 多层复合结构
ZrB₂ 常用于 TiB₂、HfB₂、ZrC 等复合薄膜体系，提升整体耐磨及耐热性能。
| 参数 | 范围 / 典型值 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.5%–99.99% | 纯度越高薄膜性能越稳定 |
| 直径 | Ø25–300 mm | 兼容主流 PVD 设备 |
| 厚度 | 2–6 mm | 根据工艺要求可定制 |
| 致密度 | ≥ 95% | 高致密减少溅射颗粒 |
| 相态 | ZrB / ZrB₂ | 不同相适配不同应用 |
| 背板 | Cu / Ti / In bonding | 提升散热与机械稳定性 |
| 材料 | 主要优势 | 应用场景 |
|---|---|---|
| ZrB₂ | 高硬度、高稳定性、耐高温 | 工业涂层、红外吸收膜 |
| TiB₂ | 高硬度、耐化学性更好 | 刀具涂层、电极 |
| HfB₂ | 更高熔点 | 超高温陶瓷、航天领域 |
| ZrC | 耐腐蚀、耐热冲击 | 耐高温结构件 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| ZrB₂ 可以使用 DC 溅射吗？ | 可以，DC/RF 均可使用。 |
| 会不会产生颗粒？ | 高致密靶材可显著降低颗粒喷射。 |
| 靶材容易开裂吗？ | ZrB₂ 属于高硬脆性陶瓷，建议使用背板以减少应力。 |
| 是否适合高功率沉积？ | 是，ZrB₂ 对热稳定性优秀，适合高功率工况。 |
| 可否提供特定尺寸？ | 支持任意尺寸加工。 |
| 是否能与其他材料共溅射？ | 可以，用于形成复合硬质薄膜。 |
| 表面粗糙度是否可调？ | 可根据工艺需求进行精密抛光。 |
● 单片真空密封
● 防静电袋 + 防震泡棉
● 出口级木箱
● 质量检测报告：纯度、密度、尺寸、外观检查
● 全流程批次可追溯编码
硼化锆靶材（ZrB / ZrB₂）凭借其卓越的高温性能、机械强度及导电特性，在先进工具涂层、光学薄膜、航天器高温部件涂层以及新型电子材料中发挥关键作用。苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度、高致密度、尺寸可定制的 ZrB 系列靶材，为科研与工业提供可靠的薄膜沉积材料解决方案。
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属（3N~6N）、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案，服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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