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硼化镁(MgB)是一类轻质化合物材料,由镁与硼形成的金属间化合物组成,具有低密度、高比强度、优异的热稳定性及独特的电子结构。MgB 在薄膜制备、功能涂层、高温结构材料及超导材料研究(与 MgB₂ 相关体系)中具有重要用途。
作为溅射靶材,MgB 具有良好的导电性、稳定的溅射性能和低颗粒产生特性,可用于制备均匀、致密、低应力的功能性薄膜,适用于科研溅射系统及真空镀膜设备。
MgB 溅射靶材通常通过真空烧结(Vacuum Sintering)、热压(Hot Pressing)或 HIP(Hot Isostatic Pressing)制备,以确保靶材化合物均匀性和高致密度。
● 化学式: MgB
● 纯度: 99%–99.9%(2N–3N)
● 密度: ≥90–95% 理论密度
● 尺寸: 圆形靶 Ø25–Ø300 mm,矩形靶可定制
● 厚度: 3–6 mm,可按设备需求调整
● 工艺: 真空烧结 / 热压烧结 / HIP
● 背板结合(可选): Cu、Ti、Mo 背板 / 铟焊接
● 外观: 灰黑色或深灰色致密烧结化合物结构
高致密 MgB 可有效降低溅射过程中的颗粒生成,提高成膜均匀性和沉积速率。
硼化镁靶材在多个功能材料与薄膜技术领域具有实际或潜在应用:
导电或电阻薄膜
保护涂层、耐磨薄膜
多层功能膜结构的中间层
尽管 MgB 与 MgB₂ 并非完全相同体系,但在科研中常用于:
Mg–B 系薄膜研究
超导机制探索
电子结构与相变测试
轻质耐热层
高温抗氧化薄膜
镁基复合体界面层
金属间化合物薄膜
功能复合材料(与 B、Mg、Ti、Al 共溅射)
新型光电与结构材料开发
| 参数 | 典型值 / 范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99%–99.9% | 满足薄膜研究与基础应用 |
| 密度 | ≥90–95% 理论密度 | 密度越高,薄膜颗粒越少 |
| 尺寸 | Ø25–Ø300 mm | 适配大部分溅射腔体 |
| 厚度 | 3–6 mm | 影响溅射寿命与热稳定性 |
| 背板结合 | Cu / Ti / Mo / Indium | 提升散热并降低热应力 |
| 化学稳定性 | 中等 | 建议在干燥、无氧条件存储 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| MgB | 轻质、导电性好 | 导电薄膜、结构涂层 |
| MgB₂ | 超导特性 | 超导薄膜、科研材料 |
| TiB₂ | 高硬度、耐磨 | 防护涂层、工具涂层 |
| B₄C | 超硬材料 | 防护、耐磨薄膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| MgB 能否用于 DC 溅射? | 可以,MgB 具备导电性,可用于 DC 或 RF。 |
| 是否可以定制 Mg:B 的化学计量比? | 可以,为满足薄膜性能,可调整比例。 |
| 是否需要背板? | 中大尺寸靶材建议使用背板提升散热能力。 |
| MgB 是否易吸潮? | 略有吸潮性,建议使用真空密封包装。 |
| 是否可以共溅射? | 可以,可与 Mg、B、Ti 等材料组合使用。 |
| 膜层性能如何控制? | 可通过功率、真空度、气氛调节薄膜的电学与结构性质。 |
所有 MgB 靶材均经过纯度、密度、微观结构与外观检测,并采用:
真空密封袋
防静电与防震包装
出口级抗冲击木箱
确保产品在运输与储存过程中处于最佳状态。
硼化镁靶材(MgB)凭借其轻质、良好的导电性、稳定的溅射性能以及在 Mg–B 功能材料研究中的价值,适用于薄膜沉积、功能涂层与新材料研发。高致密、高纯靶材可显著改善膜层品质,是科研与实验应用的优良选择。
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