您可以向我们发送询盘,以获取更多信息和最新价格。
硫化硅(SiS)是一种由硅与硫形成的化合物材料,具有独特的光学、电学与化学特性。SiS 属于层状或半层状结构体系之一,在红外光学、二维材料研究、光电器件、薄膜工程以及功能性涂层制备中具有潜在应用价值。
高纯 SiS 溅射靶材可用于磁控溅射与离子束沉积(IBD)等薄膜过程,能够沉积出具有良好致密度、均匀性与可控光电性能的薄膜。其稳定的溅射行为和低颗粒(Low Particle)特性使其适用于科研与高端材料开发。
硫化硅靶材通常通过真空烧结(Vacuum Sintering)、热压(HP)或热等静压(HIP)方法制得,以确保化合物均匀性与致密度。
● 化学式: SiS
● 纯度: 99%–99.9%(2N–3N)
● 密度: ≥85–95% 理论密度(根据工艺不同略有差异)
● 尺寸: Ø25–Ø300 mm,矩形靶可按需求定制
● 厚度: 3–6 mm,特殊尺寸可定制
● 工艺: Vacuum Sintering / Hot Pressing / HIP
● 背板(可选): Cu / Ti 背板 或 Indium bonding
● 外观: 灰黑色或深灰色致密非金属化合物表面
硫化硅(SiS)薄膜在电子、光学、能源与新材料领域展现出广泛研究价值:
红外透射薄膜
中红外光学功能层
滤光片与调控薄膜
SiS 作为层状材料,可用于 2D 电子与光电器件
能带结构可调的二维功能薄膜
纳米电子学中的新型材料研究
防腐蚀层
光吸收薄膜
多层结构中的界面层
电阻薄膜
固体润滑层
与硫化物、硅基材料共溅射形成复合膜
| 参数 | 典型范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99–99.9% | 取决于薄膜洁净度要求 |
| 密度 | 85–95% TD | 密度越高,薄膜越致密 |
| 尺寸 | Ø25–300 mm | 可根据设备定制 |
| 厚度 | 3–6 mm | 决定靶寿命与溅射均匀性 |
| 背板选择 | Cu / Ti / Indium Bonding | 提升散热并降低热应力 |
| 材料 | 特点 | 应用领域 |
|---|---|---|
| SiS | 红外性能、层状结构 | 光电薄膜、2D 材料 |
| SiSe | 带隙可调、光学响应好 | 光电探测与红外器件 |
| SiTe | 更佳红外吸收 | 中远红外光学组件 |
| MoS₂ | 经典二维材料 | 电子器件、润滑薄膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| SiS 靶材可用于 RF 溅射吗? | 可以,SiS 属于非金属化合物,适合 RF。 |
| SiS 是否易分解? | 在高温或湿度较高环境中有分解趋势,需密封保存。 |
| 是否支持定制尺寸? | 支持全尺寸定制,包括圆形与矩形靶材。 |
| 溅射薄膜会出现针孔吗? | 高致密靶材可显著降低针孔与颗粒。 |
| 可否与其他硫化物共溅射? | 可以,与 Si、S、MoS₂、WS₂ 等材料常用于复合薄膜设计。 |
真空密封包装
干燥剂密封以减少分解风险
防震泡棉加固
出口级木箱包装
每片靶材附检测报告与批次编号
硫化硅靶材(SiS)凭借其独特的光电性能、层状结构潜力和优良的化合物特性,在光学薄膜、二维材料、电学功能涂层和新材料研究中具有重要价值。高致密高纯度 SiS 靶材可确保稳定的成膜质量,是科研与高端制造的理想材料选择。
如需报价、技术参数或定制服务,请联系:
📧 sales@keyuematerials.com
您可以向我们发送询盘,以获取更多信息和最新价格。

苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
Copyright © 苏州科跃材料有限公司 苏ICP备2025199279号-1