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硅化钽（TaSiₓ）是一类重要的金属硅化物材料，兼具 优异的高温稳定性、良好的导电性、较低电阻率、抗扩散能力与优异的耐腐蚀性。常见工业相态为 TaSi₂，其在半导体器件、扩散阻挡层、薄膜电阻、硬质涂层以及高温电子结构中具有广泛应用。
作为磁控溅射靶材，TaSi 能够沉积出致密、稳定、均匀的金属硅化物薄膜，适用于先进半导体制造、功能涂层与多层复合结构研究。
● 纯度范围： 99.5% – 99.99%
● 常见相态： TaSi、TaSi₂（最常用）、Ta-rich / Si-rich 可定制
● 尺寸范围： Ø25–300 mm（支持矩形、方形）
● 厚度： 2–6 mm 或根据设备要求定制
● 致密度： ≥95% 理论密度
● 制造工艺：
– 高温真空热压烧结（Hot Pressing）
– 冷等静压（CIP）
– 热等静压（HIP）提升致密度
– 精密 CNC 加工与倒角
– 表面精磨 / 超声清洗去除微颗粒
● 背板结构： Cu、Ti、Al 或铟焊（Indium Bonding）
● 外观： 深灰—金属灰色，致密陶瓷金属间相质感
● 适配设备： RF / DC 磁控溅射、多靶位 PVD 系统、离子束溅射
TaSi 靶材在高功率沉积中仍具有良好抗裂性和溅射稳定性，适用于连续运行的产业化制程。
● 扩散阻挡层（Diffusion Barriers）
TaSi₂ 是高性能阻挡层材料，可用于防止 Cu/Si、Cu/Dielectric 互扩散。
● 半导体工艺金属化（Semiconductor Metallization）
用于接触层、栅极材料、互连结构中的耐扩散金属薄膜。
● 薄膜电阻器（Thin Film Resistors）
TaSi₂ 可形成稳定且高温性能良好的电阻薄膜。
● 硬质与防护涂层（Hard & Protective Coatings）
提升耐腐蚀性、耐磨性与高温机械强度。
● 红外与高温光学薄膜
TaSi 薄膜具备可控光学特性，可用于红外窗口与功能光学膜。
● 多层复合/纳米结构薄膜（Multilayer Films）
可与 TaN、TiSi₂、MoSi₂、TaC 等叠层使用，增强电学与耐热性能。
| 参数 | 范围 / 典型值 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.5%–99.99% | 纯度越高薄膜电学性能越稳定 |
| 直径 | Ø25–300 mm | 兼容主流溅射设备 |
| 厚度 | 2–6 mm | 可按靶寿命与工艺条件定制 |
| 致密度 | ≥95% | 减少颗粒、提升薄膜平整度 |
| 成分 | TaSi / TaSi₂ / Ta-rich / Si-rich | 适配不同应用需求 |
| 背板结构 | Cu / Ti / In bonding | 提升散热与机械强度 |
| 材料 | 特点 | 应用场景 |
|---|---|---|
| TaSi₂ | 电阻率低、耐扩散、稳定性强 | 半导体、阻挡层 |
| TiSi₂ | 超低电阻 | 金属化互连、接触层 |
| MoSi₂ | 耐高温氧化 | 高温防护膜 |
| TaN | 优异化学稳定性 | 电极/阻挡层 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| TaSi 靶材适合 DC 还是 RF？ | 两者皆可，DC 常用于金属硅化物大面积镀膜。 |
| 溅射时容易裂吗？ | 高致密靶材 + 背板可减少裂纹风险。 |
| TaSi 会粉化吗？ | 相比陶瓷更稳定，粉化概率低。 |
| 可否调节 Si 含量？ | 支持 Si-rich 或 Ta-rich 定制。 |
| 能否做 polished 版本？ | 可提供单面/双面精抛光靶材。 |
| 是否支持尺寸图纸定制？ | 可完全按照客户图纸加工。 |
● 单片独立真空密封
● 防静电包装 + 防震泡棉
● 出口级木箱运输
● 随货提供纯度报告、尺寸检测报告、批次追踪编号
硅化钽靶材（TaSi / TaSi₂）以其卓越的耐扩散性、电导性与高温稳定性，在半导体制造、薄膜电阻器、硬质涂层以及光电功能膜等领域具有重要作用。
苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度、全规格可定制的 TaSi 系列靶材，满足研发与量产应用需求。
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