氟化铽靶材(TbF)

产品简介(Introduction)

氟化铽(TbFₓ)是一类重要的稀土氟化物材料,常见形式为 TbF₃。该材料具有优异的化学稳定性、较低的声子能量、良好的光学透明性以及突出的稀土发光特性,在光学功能薄膜、磁光材料、发光材料及先进光电器件中具有重要应用价值。

作为溅射靶材,氟化铽可在磁控溅射过程中稳定沉积高均匀性、低缺陷的功能薄膜,特别适用于对光学纯净度和化学稳定性要求较高的应用场景。


产品详情(Detailed Description)

苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度、可定制规格的氟化铽溅射靶材,满足科研与产业化薄膜制备需求。

● 可提供规格

  • 纯度:99.9%(3N)– 99.99%(4N)

  • 常见化学组成:TbF₃(可按需提供其他价态氟化物)

  • 尺寸范围:Φ25–300 mm

  • 厚度:3–6 mm(支持定制)

  • 形状:圆靶、矩形靶、阶梯靶、异形靶

  • 制造工艺:真空烧结、热压(HP)、CIP/HIP

  • 致密度:≥95% 理论密度

  • 背板结合:Cu / Ti 背板,支持铟焊(Indium Bonding)

● 材料特性

  • 高化学稳定性,耐酸碱、耐腐蚀

  • 低声子能量,利于稀土发光跃迁

  • 良好的紫外–可见–近红外透过性能

  • 稀土磁光与光致发光特性明显

  • 薄膜结构致密、均匀性高


应用领域(Applications)

氟化铽(TbF)溅射靶材广泛应用于以下高端领域:

1. 光学与激光薄膜(Optical & Laser Coatings)

用于稀土掺杂光学膜、功能光学层及激光相关薄膜结构。

2. 发光与荧光材料(Luminescent Materials)

Tb³⁺ 具有典型绿色发光特性,适用于显示、照明与荧光薄膜研究。

3. 磁光薄膜(Magneto-Optical Films)

铽基材料常用于磁光效应相关器件与研究。

4. 红外与光电器件

作为功能层或辅助层用于红外窗口、探测器与光电器件。

5. 稀土功能薄膜科研

用于稀土能级跃迁、发光机制与材料物性研究。


技术参数(Technical Parameters)

参数 范围 / 典型值 说明
纯度 3N–4N 纯度越高,光学损耗越低
化学组成 TbF₃ 亦可定制其他 TbFₓ
直径 25–300 mm 适配主流溅射系统
厚度 3–6 mm 影响溅射稳定性
致密度 ≥95% TD 提升薄膜致密性与均匀性
背板 Cu / Ti / 铟焊 改善散热与使用寿命

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 特点 典型应用
TbF₃ 稀土发光、磁光特性 光学膜、发光薄膜
YbF₃ 低声子能量 激光与红外薄膜
ErF₃ 红外发光 光通信、激光器
MgF₂ 高透过率、低折射率 光学减反膜

常见问题(FAQ)

问题 答案
TbF 靶材适合 RF 还是 DC 溅射? 通常推荐 RF 磁控溅射。
TbF 是否吸湿? 稀土氟化物吸湿性低,但建议真空密封保存。
能否提供 TbF₃ 以外的组成? 可以,支持定制 TbFₓ。
是否适合光学与发光薄膜? 是,TbF 是典型稀土光学功能材料。
是否可提供背板铟焊? 支持 Cu/Ti 背板与铟焊。
是否提供检测报告? 可按需提供 ICP、密度、尺寸等报告。

包装与交付(Packaging)

  • 真空密封包装

  • 干燥剂防潮保护

  • 防震泡沫固定

  • 出口级纸箱或木箱

  • 每片靶材附唯一溯源码与质检记录


结论(Conclusion)

氟化铽靶材(TbF)凭借其优异的光学性能、稀土发光特性及高化学稳定性,在光学薄膜、磁光材料、发光器件和前沿材料研究中占据重要地位。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密、可定制的 TbF 溅射靶材,为科研与工业薄膜制备提供可靠材料支持。

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