碳化钼靶材（MoC）

产品简介（Introduction）

碳化钼靶材（Molybdenum Carbide Sputtering Target，MoC）是一种具备优异电催化性能、高硬度、耐腐蚀及优秀热稳定性的碳化物靶材。在薄膜材料、功能性电极、耐磨层、光学涂层和先进能源材料等领域，MoC 凭借其特殊的金属-陶瓷过渡性质（Metal-like Carbide）而备受关注。

MoC 具有类似金属的导电性，同时兼具陶瓷材料的高硬度和耐腐蚀特性，被广泛用于制备高附着力、致密、稳定的功能薄膜，是材料科学和能源技术中重要的新型靶材材料。

产品详情（Detailed Description）

苏州科跃材料科技有限公司提供高密度、高纯度的 MoC 溅射靶材，具有以下特点：

• 纯度：
  99%–99.9%（2N–3N）

• 规格：

  • 圆形靶材直径：25–300 mm

  • 方形/矩形靶材可定制

  • 厚度：3–6 mm（可根据设备要求调整）

• 制造工艺：

  • 纳米级碳化钼粉末

  • 真空热压烧结（HP）

  • 热等静压（HIP）致密化 ≥95%–99%TD

  • 精研磨工艺（Ra < 0.4 μm）
    高致密靶材可显著降低颗粒脱落，提高薄膜均匀性和膜层性能。

• 背板结合（可选）：

  • 铜背板（Cu）

  • 钼背板（Mo）

  • 铟焊（Indium Bonding）
    用于陶瓷靶材的散热、应力缓冲与避免爆靶。

MoC 可用于 DC/RF、HiPIMS、IBS 等多种薄膜沉积技术。

应用领域（Applications）

碳化钼靶材广泛应用于先进薄膜材料、电催化、半导体及耐磨膜层领域：

1. 电子与半导体

• 功能性薄膜

• 电极材料

• 电学调控膜层

• 阻挡层（Barrier Layer）

2. 硬质涂层与耐磨膜层

• 高硬度保护膜

• 机械部件耐磨涂层

• 工具/模具表面强化膜

3. 光学与光电功能膜

• 吸收膜

• 耐腐蚀光学保护层

• 红外应用膜层

4. 能源技术

• 电催化薄膜（如 HER、OER 相关研究）

• 氢能/燃料电池材料

• 复合电极层

5. 科研应用

• 金属-碳化物复合薄膜研究

• 多层结构（如 MoC/TiN、MoC/ZrC）

• 薄膜微结构调控研究

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

包装（Packaging）

• 真空或氩气保护封装

• 防静电袋 + 加厚防震材料

• 出口级加固纸箱/木箱

• 标配 COA、批号与溯源标签

确保运输过程中保持洁净、无损坏。

结论（Conclusion）

碳化钼靶材以其独特的金属-陶瓷特性，兼具良好导电性、耐高温性、抗腐蚀性和高稳定性，是电子薄膜、电极材料、耐磨涂层与先进材料研究的重要靶材。高纯、高致密 MoC 靶材能够显著提升薄膜性能与一致性，是高端薄膜沉积工艺的优质材料选择。

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