碳化铪靶材（HfC）

产品简介（Introduction）

碳化铪靶材（Hafnium Carbide Sputtering Target，HfC）是一种熔点极高（约 3890°C，为目前已知熔点最高的二元化合物之一）、硬度优异、耐腐蚀性出色且具有优良高温稳定性的陶瓷靶材。
HfC 作为超高温陶瓷（UHTC）材料的代表，广泛应用于航空航天防护层、耐烧蚀涂层、机械强化膜、高温电子材料以及高性能功能薄膜制备。

HfC 薄膜结构致密、机械性能强、电学性能可调，在极端环境材料与尖端科技领域具有重要作用。

产品详情（Detailed Description）

苏州科跃材料科技有限公司提供高致密度、高纯度的碳化铪（HfC）靶材，具有以下工艺和性能优势：

• 纯度：
  99%–99.9%（2N–3N）

• 靶材尺寸：

  • 圆形靶：直径 25–300 mm

  • 方形/矩形靶：可按图纸定制

  • 厚度：3–6 mm，可根据设备要求调整

• 制造工艺：

  • 使用超细 HfC 粉末（纳米或亚微米级）

  • 真空热压烧结（HP）成型

  • 热等静压（HIP）进一步提高致密度（≥95%–99% TD）

  • 表面精密研磨（Ra < 0.4 μm）
    高致密结构减少溅射颗粒，提高膜层均匀性与重复性。

• 背板结合（可选）：

  • 铜背板（Cu）

  • 钼背板（Mo）

  • 铟焊（Indium Bonding）
    可有效降低陶瓷靶材热应力，提升高功率运行稳定性。

HfC 靶材兼具高硬度和极高熔点，可应对高温溅射环境，适用于 DC、RF、HiPIMS 和离子束溅射等工艺。

应用领域（Applications）

碳化铪靶材在高性能薄膜领域应用广泛，尤其适用于极端高温和强腐蚀环境：

1. 航空航天与高温结构材料

• 超高温防护涂层（UHTC Coatings）

• 再入飞行器、火箭喷管保护层

• 燃烧室热防护膜层

2. 半导体与电子行业

• 高温电子器件

• 碳化物复合功能膜

• 金属间化合物阻挡层

3. 工具涂层与耐磨薄膜

• 超硬涂层

• 高负载耐磨表面强化涂层

• 耐腐蚀机械部件保护膜

4. 光学与光电领域

• 红外吸收膜

• 光学保护层

• 结构致密的屏蔽膜

5. 新能源与科研材料

• 高温电极薄膜

• 先进涂层技术研究

• 超高温陶瓷材料体系开发（HfC–TaC、HfC–SiC 等）

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

包装（Packaging）

• 干燥氩气封装或真空密封

• 防静电袋 + 防震珍珠棉

• 出口级木箱或缓冲包装

• 附 COA、批号与溯源标签
  确保运输和储存过程中的洁净、安全及稳定性。

结论（Conclusion）

碳化铪靶材作为超高温陶瓷材料的代表，具有卓越的热稳定性、机械强度和耐腐蚀性能，是航空航天、高温电子、功能薄膜以及最前沿材料研究的关键靶材。高纯、高致密 HfC 靶材可显著提升薄膜的稳定性、性能和重复性，是高端薄膜沉积不可或缺的重要材料。

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