氮化铬靶材（CrN）

描述

产品简介（Introduction）

氮化铬（Chromium Nitride，CrN）是一种性能成熟、应用广泛的过渡金属氮化物材料，具有优异的耐磨性、耐腐蚀性、良好的热稳定性以及较低的摩擦系数。与 TiN 等传统硬质涂层相比，CrN 在高温环境和腐蚀介质中表现出更好的稳定性，因此被广泛应用于模具涂层、机械零部件防护、精密工具及功能薄膜领域。

作为溅射靶材，氮化铬能够稳定沉积出致密、均匀、附着力强的 CrN 薄膜，适用于 DC 或 RF 磁控溅射 工艺，是工业级耐磨防护涂层和科研薄膜制备中的经典材料之一。

产品详情（Detailed Description）

氮化铬靶材采用高纯铬源与精确氮化工艺制备，并通过真空烧结、热压或热等静压（HIP）工艺实现高致密度与均匀的相结构。

• 化学式： CrN

• 晶体结构： NaCl 型立方结构

• 纯度： 99.5% – 99.99%（2N5–4N，可定制）

• 密度： ≥95% 理论密度

• 尺寸： Ø25 – Ø300 mm（支持矩形靶、异形靶定制）

• 厚度： 3 – 6 mm（支持薄靶或加厚靶）

• 制造工艺： Vacuum Sintering / Hot Pressing / HIP

• 背板选项： Cu / Ti / Mo（支持铟焊）

• 外观： 深灰至银灰色致密金属陶瓷质感表面

高致密 CrN 靶材可显著降低溅射颗粒生成，提升薄膜均匀性和使用寿命，适合中高功率溅射工艺。

应用领域（Applications）

● 耐磨与防护涂层

• 切削工具与成形模具涂层

• 机械零部件耐磨防护层

• 高负载工业部件表面强化

● 抗腐蚀与高温应用

• 高温氧化环境防护涂层

• 化工与腐蚀性介质环境部件

• 汽车与航空零部件涂层

● 功能与装饰薄膜

• 深灰色功能装饰涂层

• 低摩擦表面工程薄膜

● 科研与多层薄膜结构

• CrN/Cr 多层耐磨体系

• 与 TiN、VN 等氮化物复合涂层

• 薄膜摩擦学与力学性能研究

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

• CrN 靶材适合 DC 还是 RF 溅射？
  CrN 具有良好导电性，DC 与 RF 均可使用。

• CrN 与 TiN 相比有什么优势？
  CrN 在耐腐蚀性和高温稳定性方面表现更优。

• 是否适合高功率溅射？
  是的，建议选用高致密 HIP 靶材。

• CrN 薄膜颜色如何？
  通常呈深灰至银灰色，均匀稳定。

• 是否支持共溅射或多层结构？
  支持，常用于 Cr/CrN 或 CrN/TiN 多层体系。

包装与交付（Packaging）

• 真空密封包装

• 干燥剂防潮保护

• 防震泡棉固定

• 出口级木箱运输

• 随附 COA 与批次追溯编号

结论（Conclusion）

氮化铬靶材（CrN）凭借其优异的耐磨性、耐腐蚀性和热稳定性，在工业防护涂层、机械零部件和科研薄膜制备中具有长期成熟的应用基础。高纯、高致密 CrN 靶材能够显著提升薄膜质量与工艺可靠性，是耐磨与防护涂层领域的经典选择。

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