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氧化锰靶材(MnO)是一种重要的金属氧化物,具有良好的化学稳定性、热稳定性和电子性能。MnO 靶材广泛应用于电子、光学、气敏材料和能源存储领域。由于锰的独特电学性质,氧化锰靶材常被用于电池、传感器、光电器件以及催化材料的薄膜制备。氧化锰的应用范围广泛,尤其在传感器和电池材料中具有重要作用。
氧化锰靶材在溅射过程中能够产生均匀且致密的薄膜,适用于高端电子设备、光学薄膜以及气敏传感器的制备。
苏州科跃材料科技有限公司提供的氧化锰靶材(MnO)采用高纯度的锰金属原料,通过冷等静压(CIP)、热等静压(HIP)或高温烧结(Hot Pressing)工艺制备,确保靶材具有高纯度和均匀性。我们的氧化锰靶材适用于高温、高功率磁控溅射系统,能够提供高质量、均匀的薄膜,适用于光学薄膜、电子薄膜、气敏材料等领域。
常规规格:
纯度(Purity):99.9%(3N)– 99.99%(4N)
尺寸(Size):直径 25–300 mm,厚度 3–6 mm(可定制)
密度(Density):≥ 98% 理论密度(T.D.)
工艺(Process):CIP 成型 + 热压烧结(Hot Pressing)/ HIP 致密化
背板结合(Bonding):Cu / Ti / Mo 背板,铟焊(In Bonding)
高纯度材料 → 确保薄膜的高质量和低杂质
优异的热稳定性 → 能承受高温溅射和薄膜沉积
良好的化学稳定性 → 在多种环境下保持稳定
均匀微观结构 → 提供稳定的薄膜质量和性能
氧化锰靶材广泛应用于以下领域:
气敏材料:用于气体传感器、电化学传感器等
电池材料:用于锂电池、镍氢电池的电极材料
光学薄膜:用于光学涂层、反射膜、抗反射膜等
电子薄膜:用于电子器件、集成电路等高端应用
催化材料:用于催化反应和环保材料的薄膜制备
透明导电膜(TCO):用于薄膜太阳能电池、透明电极等
| 参数 | 典型值 / 范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 高纯度保证薄膜质量 |
| 密度 | ≥ 98% T.D. | 提升薄膜的稳定性和致密度 |
| 尺寸 | 直径 25–300 mm | 适配多种溅射系统 |
| 厚度 | 3–6 mm | 可根据需求定制 |
| 背板结合 | Cu / Ti / Mo / In | 提升散热与稳定性 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| MnO | 良好的热稳定性、化学稳定性 | 气敏传感器、电池材料、光学薄膜 |
| ZnO | 透明导电性良好、环保 | 透明导电膜、气敏传感器 |
| TiO₂ | 高折射率、广泛应用 | 光学薄膜、催化材料 |
| CuO | 优异的电子性能 | 电子器件、催化剂 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| MnO 靶材适用于哪些溅射方法? | MnO 靶材适用于 RF 磁控溅射和 DC 溅射。 |
| 氧化锰靶材的主要用途有哪些? | 主要用于气敏传感器、光学薄膜、电池材料等。 |
| 该靶材的电导率如何? | 氧化锰薄膜具有较低的电阻率,适合高效透明导电膜的制作。 |
| 是否适用于柔性基板? | 是的,氧化锰薄膜适用于柔性基板的应用。 |
| 该靶材的透光率如何? | MnO 薄膜具有较高的光学透过率,适合光电应用。 |
| 是否提供背板结合选项? | 是的,氧化锰靶材可选择铜(Cu)、钛(Ti)或铟焊(In)背板。 |
| 是否提供定制规格? | 可以,提供定制尺寸、厚度和背板选项,满足不同溅射需求。 |
每个靶材都采用真空密封包装
防震泡沫保护,确保运输安全
出口级木箱包装,适合长途运输
每个靶材附带唯一批次号和质量检测报告
氧化锰靶材(MnO)凭借其良好的热稳定性、化学稳定性和光学性能,广泛应用于气敏传感器、光学薄膜、电池材料等领域。苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度、高密度、多规格定制的氧化锰靶材,满足各类工业和科研需求。
如需了解更多技术参数或获取报价,请联系:
📧 sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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