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氧化铋靶材(BiO)是一种常用于光电、催化和功能薄膜制备的金属氧化物材料,具有良好的电学性能、高介电常数以及优异的光学特性。作为 PVD(物理气相沉积)工艺中常见的稀有氧化物靶材,BiO 在光子器件、热电材料、铁电薄膜及透明导电膜等领域具有重要应用价值。
氧化铋材料具备良好的热稳定性和化学惰性,加之其易实现高致密度烧结,因而在许多高端薄膜制备工艺中被视为可靠的靶材选择。
苏州科跃材料科技有限公司供应的氧化铋靶材(BiO)采用高纯度铋源材料,通过冷等静压(CIP)、真空热压烧结(Hot Pressing)或热等静压(HIP)制备而成。我们的靶材具有高致密度、均匀微结构与稳定的溅射速率,可适配多种薄膜沉积设备。
纯度(Purity):99.9%(3N)– 99.99%(4N)
尺寸(Size):直径 25–300 mm(可定制方片/圆形/阶梯)
厚度(Thickness):3–6 mm(可定制)
密度(Density):≥ 97–99% 理论密度
制造工艺:CIP 成型 + 热压烧结 / HIP 致密化
背板选项(Bonding):Cu / Ti / Mo 背板,铟焊(Indium Bonding)
高致密度靶体 → 膜层均匀性佳
低杂质污染 → 适合高精度光学与电子薄膜
良好的介电与光学特性 → 应用于铁电薄膜与光子器件
优异的耐高温与化学稳定性 → 支持反应性溅射与高功率工况
氧化铋靶材(BiO)广泛用于:
透明导电薄膜(TCO)制备
铁电与多铁性薄膜材料(如 BiFeO₃、BiMnO₃ 的共溅射)
光电器件薄膜(光探测器、光电开关组件)
热电材料薄膜
催化薄膜与气敏薄膜
科研实验中的功能氧化物薄膜制备
BiO 常与其他氧化物(如 Fe₂O₃、MnO、TiO₂)共溅射,用于制备多铁性与铁电复合薄膜。
| 参数 | 范围 / 典型值 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 高纯度适合电子与光学薄膜 |
| 密度 | 97–99% T.D. | 高致密度减少薄膜缺陷 |
| 直径 | 25–300 mm | 覆盖主流溅射设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 可定制靶材寿命与沉积速率 |
| 背板 | Cu / Ti / Mo / In 焊 | 提升散热与机械强度 |
| 材料 | 优势 | 应用 |
|---|---|---|
| BiO | 高介电特性、光学特性佳 | 光电器件、铁电薄膜 |
| Bi₂O₃ | 更高介电常数,常用于 TCO | 透明导电膜、光学薄膜 |
| BiFeO₃ | 多铁性材料 | 储能、铁电、磁电耦合薄膜 |
| TiO₂ | 高折射率 | 光学镀膜、催化薄膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| BiO 靶材适合什么溅射方式? | 支持 RF、DC 和反应性溅射。 |
| 适用于哪些薄膜应用? | 光电薄膜、铁电材料薄膜、催化膜等。 |
| 是否可用于共溅射? | 可与 Fe、Mn、Ti 等氧化物共溅射。 |
| 薄膜的颜色如何? | 通常呈浅灰至深灰色,视沉积参数而定。 |
| 是否支持背板? | 可选 Cu、Ti、Mo 或铟焊接背板。 |
| 能否定制尺寸? | 所有尺寸、形状均可按需定制。 |
| 运输是否安全包装? | 靶材均采用真空密封 + 防震箱包装。 |
真空密封防氧化
防震泡沫填充
出口级木箱保护
每片靶材均附带检测报告与批号
氧化铋靶材(BiO)凭借其优异的光学、电学与介电性能,是光电、铁电及功能薄膜制备中的重要靶材。苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度、高致密度的 BiO 靶材,可完全按客户需求定制,适用于科研及工业生产。
如需报价或技术咨询,请联系:
📧 sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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