钛镍靶材（TiNi）

产品简介（Introduction）

钛镍靶材（TiNi）由钛（Ti）与镍（Ni）组成，是一种具备优异形状记忆效应、良好韧性、适度电阻率与高耐腐蚀性的功能性合金靶材。Ti 与 Ni 可形成多种相结构（如 B2 相与 R 相），使 TiNi 薄膜具备可恢复性变形特征，因此广泛用于微机电系统（MEMS）、传感器、驱动器、医疗器械薄膜等领域。

TiNi 的机械可逆性、良好附着性与可调电学特性，使其成为科研机构、高端制造及智能材料领域的重要薄膜材料。

产品详情（Detailed Description）

钛镍靶材使用高纯钛粉与镍粉，通过冷等静压（CIP）成型，并采用真空烧结或热等静压（HIP）致密化处理。该合金靶材具有良好的组织均匀性与较高致密度，能够在磁控溅射中稳定工作，并沉积出表面平整、应力可控的功能薄膜。

典型产品参数：

• 纯度（Purity）：99.9%–99.99%

• 常见配比（Composition）：

  • Ti50Ni50（形状记忆薄膜最常用）

  • Ti60Ni40

  • Ti40Ni60
    （可根据性能需求定制比例）

• 直径（Diameter）：Ø25–Ø300 mm

• 厚度（Thickness）：3–6 mm

• 致密度（Density）：≥95%–98%

• 制造工艺（Process）：CIP + 真空烧结 / HIP

• 背板（Bonding）：可提供 Cu / Ti 背板、铟焊 In-bonding

材料特点：

• 具备可逆应变与形状记忆特性

• 高韧性、抗疲劳性能强

• 良好耐腐蚀性能

• 成膜结构均匀、颗粒率低

• 可用于驱动/温敏/应力响应薄膜

• 与硅、金属、玻璃等基底附着性良好

应用领域（Applications）

TiNi 是一种典型的智能材料靶材，薄膜可表现出形状记忆效应与超弹性效应。

1. 微机电系统（MEMS）

应用于：

• 微型驱动器

• 微型执行器

• 热驱动或力控器件

2. 传感器与智能器件

• 温敏传感器

• 应力响应器件

• 生物传感设备

3. 医疗器械薄膜（Medical Devices）

• 可形变薄膜结构

• 植入式柔性结构支撑层

4. 工程与结构薄膜（Functional Films）

• 超弹性金属薄膜

• 功能复合结构金属层

5. 科研用途

用于研究：

• 形状记忆材料相变行为

• 功能薄膜多层结构设计

• Ni-Ti 合金相稳定性

可用于 RF/DC 磁控溅射、反应溅射、共溅射 等。

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison）

常见问题（FAQ）

包装（Packaging）

• 真空密封

• 干燥剂防潮

• 多层防震泡沫

• 出口级木箱 / 加强纸箱

• 每片靶材都有唯一追溯编号

结论（Conclusion）

钛镍靶材（TiNi）是智能材料薄膜、MEMS 驱动器、医疗器械、高端结构薄膜的重要功能靶材。苏州科跃材料科技有限公司可按需求提供不同成分、不同尺寸与不同背板结构的 TiNi 合金靶材，为科研与工业客户提供可靠的薄膜材料解决方案。

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