镍锆靶材（NiZr）

产品简介（Introduction）

镍锆靶材（NiZr）由镍（Ni）与锆（Zr）组成，是一种兼具高耐腐蚀性、良好机械性能、优异薄膜附着性与热稳定性的功能性金属合金靶材。Ni 提供良好的延展性、电导率和稳定性，而 Zr 具有极佳的抗氧化能力与高温性能，使 NiZr 合金薄膜在复杂环境下仍保持致密、均匀和可靠。

NiZr 合金广泛用于金属结构膜、阻挡层、保护涂层、光学薄膜以及高端电子器件薄膜，是科研与工业应用中的重要复合金属靶材。

产品详情（Detailed Description）

镍锆靶材采用高纯镍粉与锆粉为原料，通过冷等静压（CIP）压制成型，再经真空烧结（Vacuum Sintering）或热等静压（HIP）提高致密度。其特点包括高机械稳定性、低颗粒率、均匀成分分布，适合高功率 DC/RF 磁控溅射。

典型产品参数：

• 纯度（Purity）：99.9%–99.99%

• 常见配比（Composition）：

  • Ni80Zr20

  • Ni70Zr30

  • Ni60Zr40
    （可根据薄膜性能定制比例）

• 直径（Diameter）：Ø25–Ø300 mm

• 厚度（Thickness）：3–6 mm

• 致密度（Density）：≥95–98% TD

• 工艺路线（Process）：CIP + 真空烧结 / HIP

• 背板（Bonding）：可提供 Ti / Cu 背板或铟焊（In Bonding）

材料特点：

• 抗氧化能力强、耐腐蚀性能优异

• 金属延展性好，不易开裂

• 成膜速度稳定、膜层致密

• 热稳定性高，适合高温工艺

• 与陶瓷、Si、金属等基底附着性优良

• 支持反应性溅射（N₂ / O₂ / Ar）

应用领域（Applications）

镍锆靶材在功能薄膜、保护膜和结构膜领域广泛应用，尤其适用于要求耐腐蚀、高温稳定或结构强化的薄膜体系。

1. 半导体与电子薄膜（Semiconductors）

• 阻挡层

• 粘附层

• 金属结构层

• 多层复合金属膜基底层

2. 光学镀膜（Optical Coatings）

• 光学保护层

• 反射膜 / 功能性调控膜

• 多层光学结构过渡层

3. 防腐与结构薄膜（Protective Coatings）

用于：

• 高湿、盐雾环境

• 化工腐蚀环境

• 耐磨结构膜

4. 航空与耐热薄膜（Aerospace Films）

• 轻量耐热结构膜

• 抗氧化高温涂层

• 高温缓冲层

5. 科研与材料工程

适用于：

• Ni-Zr 金属间化合物薄膜研究

• 氧化物/氮化物反应性薄膜

• 多层复合结构设计

兼容 DC/RF 磁控溅射、反应溅射、共溅射。

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison）

常见问题（FAQ）

包装（Packaging）

• 真空密封

• 干燥剂防潮

• 防震泡沫保护

• 出口级木箱 / 加强纸箱

• 附唯一批号，支持全程追踪

结论（Conclusion）

镍锆靶材（NiZr）以其高耐腐蚀、高结构稳定性和优良薄膜附着性能，成为电子元件、光学膜、保护膜和高温结构膜的重要材料。苏州科跃材料科技有限公司可提供不同尺寸、不同配比及背板选项的 NiZr 靶材，满足科研与工业客户的薄膜沉积需求。

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