镍钛靶材(NiTi)

镍钛靶材(NiTi)

产品简介(Introduction)

镍钛靶材(NiTi)由镍(Ni)与钛(Ti)组成,是一种兼具超弹性、形状记忆特性、高韧性与良好耐腐蚀性的功能金属合金靶材。NiTi(又称 Nitinol)在薄膜形态下可表现出优异的力学响应、稳定的电学特性和高可靠性,因此广泛用于微机电系统(MEMS)、传感器、医疗器械薄膜、耐磨结构膜等高端应用。

其特殊的马氏体 / 奥氏体相变特性,使 NiTi 薄膜可实现可逆形变、应力响应调控,是众多创新薄膜领域的重要材料。


产品详情(Detailed Description)

NiTi 靶材采用高纯镍粉与钛粉作为原料,通过冷等静压(CIP)成型,再经真空烧结(Vacuum Sintering)或热等静压(HIP)提升致密度。Ni 与 Ti 均为活性金属,因此烧结与成型过程需严格控制氧含量,确保最终薄膜具有良好粘附性、低颗粒以及高结构稳定性。

典型产品参数:

  • 纯度(Purity):99.9%–99.99%

  • 典型成分比例(Composition)

    • Ni50Ti50(等原子比,最常见)

    • Ni55Ti45

    • Ni45Ti55
      (比例可按薄膜性能需求调整)

  • 直径(Diameter):Ø25–Ø300 mm

  • 厚度(Thickness):3–6 mm

  • 致密度(Density):≥95–98% TD

  • 工艺路线(Process):CIP + 真空烧结 / HIP

  • 背板(Bonding):Cu / Ti 背板或铟焊(In Bonding)

材料特点:

  • 具有形状记忆效应和超弹性

  • 膜层韧性极佳,不易开裂

  • 良好的耐腐蚀性(对汗液、盐水等环境)

  • 优秀的机械稳定性与粘附性

  • 马氏体 / 奥氏体相变可用于功能薄膜设计

  • 与 Si、玻璃、聚合物、金属等基底兼容

  • 适合反应性溅射(氮化、氧化薄膜)


应用领域(Applications)

NiTi 薄膜因其形状记忆与超弹性特性,在众多高科技领域扮演着关键角色。

1. 微机电系统(MEMS)

  • 微执行器

  • 微弹性结构

  • 微传感器结构层

  • 变形驱动薄膜

2. 医疗器械(Medical Devices)

  • 导管、支架涂层

  • 手术器械表面薄膜

  • 可重复自恢复结构膜

3. 航空航天(Aerospace)

  • 温度响应结构膜

  • 耐疲劳金属膜

  • 轻量结构层

4. 耐磨与结构保护膜(Engineering Coatings)

  • 耐腐蚀膜

  • 耐磨强化膜

  • 韧性增强结构膜

5. 光学与电子领域(Optics & Electronics)

  • 低应力结构膜

  • 电极、过渡层

  • 多层调控膜


技术参数(Technical Parameters)

参数 范围 / 数值 说明
纯度 99.9–99.99% 影响薄膜纯净度与相变性能
成分比例 Ni/Ti 可定制 影响形状记忆及超弹性特性
致密度 ≥95–98% TD 确保低颗粒、均匀成膜
厚度 3–6 mm 影响溅射寿命
直径 Ø25–300 mm 兼容不同设备
背板 Ti / Cu / In 提升散热与结合强度

相关材料对比(Comparison)

材料 特性 应用
NiTi 超弹性 + 记忆效应 MEMS、医疗、航空
Ti(钛靶材) 高附着性、轻量 结构层、粘附层
Ni(镍靶材) 稳定电导、延展性好 电极、电子薄膜
NiCr 高耐腐蚀 电阻薄膜

常见问题(FAQ)

问题 答案
NiTi 是否适合反应性溅射? 是,可制备 NiTiOx、NiTiN 等功能薄膜。
成分是否可定制? 可定制 Ni40–60% 的任意比例。
NiTi 薄膜是否具备记忆效应? 具备,取决于退火工艺与成分控制。
是否适合柔性基底? 是,NiTi 膜层韧性极强。
会不会易产生颗粒? 采用致密烧结/HIP 工艺,颗粒率极低。

包装(Packaging)

  • 真空密封防氧化

  • 多层防震泡棉

  • 含干燥剂

  • 出口级木箱/硬箱

  • 每片靶材附唯一批号


结论(Conclusion)

镍钛靶材(NiTi)凭借其形状记忆、超弹性、高韧性与优异耐腐蚀能力,在 MEMS、医疗、航空与功能薄膜技术中具有不可替代的价值。苏州科跃材料科技有限公司可提供定制比例、定制尺寸及背板选项,满足科研至量产的各类需求。

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📩 sales@keyuematerials.com