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镍钛靶材(NiTi)由镍(Ni)与钛(Ti)组成,是一种兼具超弹性、形状记忆特性、高韧性与良好耐腐蚀性的功能金属合金靶材。NiTi(又称 Nitinol)在薄膜形态下可表现出优异的力学响应、稳定的电学特性和高可靠性,因此广泛用于微机电系统(MEMS)、传感器、医疗器械薄膜、耐磨结构膜等高端应用。
其特殊的马氏体 / 奥氏体相变特性,使 NiTi 薄膜可实现可逆形变、应力响应调控,是众多创新薄膜领域的重要材料。
NiTi 靶材采用高纯镍粉与钛粉作为原料,通过冷等静压(CIP)成型,再经真空烧结(Vacuum Sintering)或热等静压(HIP)提升致密度。Ni 与 Ti 均为活性金属,因此烧结与成型过程需严格控制氧含量,确保最终薄膜具有良好粘附性、低颗粒以及高结构稳定性。
纯度(Purity):99.9%–99.99%
典型成分比例(Composition):
Ni50Ti50(等原子比,最常见)
Ni55Ti45
Ni45Ti55
(比例可按薄膜性能需求调整)
直径(Diameter):Ø25–Ø300 mm
厚度(Thickness):3–6 mm
致密度(Density):≥95–98% TD
工艺路线(Process):CIP + 真空烧结 / HIP
背板(Bonding):Cu / Ti 背板或铟焊(In Bonding)
具有形状记忆效应和超弹性
膜层韧性极佳,不易开裂
良好的耐腐蚀性(对汗液、盐水等环境)
优秀的机械稳定性与粘附性
马氏体 / 奥氏体相变可用于功能薄膜设计
与 Si、玻璃、聚合物、金属等基底兼容
适合反应性溅射(氮化、氧化薄膜)
NiTi 薄膜因其形状记忆与超弹性特性,在众多高科技领域扮演着关键角色。
微执行器
微弹性结构
微传感器结构层
变形驱动薄膜
导管、支架涂层
手术器械表面薄膜
可重复自恢复结构膜
温度响应结构膜
耐疲劳金属膜
轻量结构层
耐腐蚀膜
耐磨强化膜
韧性增强结构膜
低应力结构膜
电极、过渡层
多层调控膜
| 参数 | 范围 / 数值 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9–99.99% | 影响薄膜纯净度与相变性能 |
| 成分比例 | Ni/Ti 可定制 | 影响形状记忆及超弹性特性 |
| 致密度 | ≥95–98% TD | 确保低颗粒、均匀成膜 |
| 厚度 | 3–6 mm | 影响溅射寿命 |
| 直径 | Ø25–300 mm | 兼容不同设备 |
| 背板 | Ti / Cu / In | 提升散热与结合强度 |
| 材料 | 特性 | 应用 |
|---|---|---|
| NiTi | 超弹性 + 记忆效应 | MEMS、医疗、航空 |
| Ti(钛靶材) | 高附着性、轻量 | 结构层、粘附层 |
| Ni(镍靶材) | 稳定电导、延展性好 | 电极、电子薄膜 |
| NiCr | 高耐腐蚀 | 电阻薄膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| NiTi 是否适合反应性溅射? | 是,可制备 NiTiOx、NiTiN 等功能薄膜。 |
| 成分是否可定制? | 可定制 Ni40–60% 的任意比例。 |
| NiTi 薄膜是否具备记忆效应? | 具备,取决于退火工艺与成分控制。 |
| 是否适合柔性基底? | 是,NiTi 膜层韧性极强。 |
| 会不会易产生颗粒? | 采用致密烧结/HIP 工艺,颗粒率极低。 |
真空密封防氧化
多层防震泡棉
含干燥剂
出口级木箱/硬箱
每片靶材附唯一批号
镍钛靶材(NiTi)凭借其形状记忆、超弹性、高韧性与优异耐腐蚀能力,在 MEMS、医疗、航空与功能薄膜技术中具有不可替代的价值。苏州科跃材料科技有限公司可提供定制比例、定制尺寸及背板选项,满足科研至量产的各类需求。
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